설치 보고서
DVIA-M Series
11-29-2023
RAITH EBPG5150 E-Beam Lithography System DVIA-MB3000 Installation Report
DVIA-M Series
Installation Report
RAITH
Nanotech West Lab 1381 Kinnear Road Columbus, OH 43212
목차
결과 요약
결과 요약은 다음과 같습니다:
DVIA-MB3000 진동 사양 충족
본 보고서는 오하이오주 콜럼버스, 1381 Kinnear Road, Nanotech West Lab 클린룸에 위치한 Raith EPBG5150용 진동 제어 시스템 MB3000 설치에 대한 상세 내용을 제공합니다. Ohio State University는 VEC에 DVIA-MB3000 설치 및 완료 작업 보고서 작성을 의뢰했습니다.
제품 상세
| 납품 부품 | 시리얼 넘버 | 소프트웨어 |
|---|---|---|
| MB3000 | 221130R3 | 현장 맞춤 튜닝 |
작업 요약
시스템 설치 방법
- 현미경 아래에 모듈형 플랫폼 배치
- 모듈형 플랫폼을 0.5mm 이내로 수평 조정
시스템 테스트 방법
- 현장 맞춤 튜닝 생성 및 업로드
- 성능 검증을 위한 진동 데이터 수집
시스템 최종 상태
- 위치에 배치 및 전원 켜짐
- Active 제어 활성화됨
설치자 노트
장기 사용을 위해 에어라인을 질소에서 압축 공기로 변경해야 합니다.
이 장비는 "Auto Active"가 활성화되어 있어 정전 후 전원이 복구되어도 시스템에 별도 조치가 필요하지 않습니다.
절차
진동
VEC는 3개 방향에서 진동 측정을 수행했습니다. 가속도 측정은 Hz 대역폭에서 um/s 단위로 수행되었습니다. Hz 대역폭의 가속도 스펙트럼이 기록되었습니다.
설정
| 진동 | |
|---|---|
| 대역폭 | Hz |
| 지속 시간 | 초 |
| 공학 단위 | um/s |
사양
VEC는 본 프로젝트에 다음 사양을 사용했습니다.
사양 요약
| 장비 | 사양 |
|---|---|
| Raith EPBG515 | 진동 모든 방향 9 um/s 1Hz - 6Hz 9-20 um/s 6Hz - 30Hz 20-10 um/s 30Hz - 80Hz 10-100 um/s 80Hz - 800Hz |
상세 사양
그림 1: 상세 사양
결과
결과 요약
결과 요약은 다음과 같습니다:
MB3000 ON 통과 진동 사양 충족
상세 결과
| 유형 | 위치 | 방향 | 사양 | 측정값 | 결과 |
|---|---|---|---|---|---|
| 진동 | 바닥 | 전후 | 9 um/s 1Hz - 6Hz | 2 um/s @ 4Hz | 통과 |
| 9-20 um/s 6Hz - 30Hz | 7 um/s @ 18Hz | 통과 | |||
| 20-10 um/s 30Hz - 80Hz | 1 um/s @ 58Hz | 통과 | |||
| 10-100 um/s 80Hz - 800Hz | 통과 | ||||
| 좌우 | 9 um/s 1Hz - 6Hz | 3 um/s @ 6Hz | 통과 | ||
| 9-20 um/s 6Hz - 30Hz | 5 um/s @ 6Hz | 통과 | |||
| 20-10 um/s 30Hz - 80Hz | 2 um/s @ 58Hz | 통과 | |||
| 10-100 um/s 80Hz - 800Hz | 통과 | ||||
| 수직 | 9 um/s 1Hz - 6Hz | 4 um/s @ 6Hz | 통과 | ||
| 9-20 um/s 6Hz - 30Hz | 7 um/s @ 18Hz | 통과 | |||
| 20-10 um/s 30Hz - 80Hz | 7 um/s @ 58Hz | 통과 | |||
| 10-100 um/s 80Hz - 800Hz | 통과 | ||||
| 수직 (보행) | 9 um/s 1Hz - 6Hz | 22 um/s @ 2Hz | 실패 | ||
| 9-20 um/s 6Hz - 30Hz | 29 um/s @ 9Hz | 실패 | |||
| 20-10 um/s 30Hz - 80Hz | 8 um/s @ 58Hz | 통과 | |||
| 10-100 um/s 80Hz - 800Hz | 통과 | ||||
| MB3000 | 전후 | 9 um/s 1Hz - 6Hz | 0.717 um/s @ 5Hz | 통과 | |
| 9-20 um/s 6Hz - 30Hz | 0.276 um/s @ 25Hz | 통과 | |||
| 20-10 um/s 30Hz - 80Hz | 0.804 um/s @ 45Hz | 통과 | |||
| 10-100 um/s 80Hz - 800Hz | 통과 | ||||
| 좌우 | 9 um/s 1Hz - 6Hz | 0.648 um/s @ 5Hz | 통과 | ||
| 9-20 um/s 6Hz - 30Hz | 0.390 um/s @ 23Hz | 통과 | |||
| 20-10 um/s 30Hz - 80Hz | 0.742 um/s @ 45Hz | 통과 | |||
| 10-100 um/s 80Hz - 800Hz | 통과 | ||||
| 수직 | 9 um/s 1Hz - 6Hz | 0.333 um/s @ 6Hz | 통과 | ||
| 9-20 um/s 6Hz - 30Hz | 0.602 um/s @ 17Hz | 통과 | |||
| 20-10 um/s 30Hz - 80Hz | 2 um/s @ 45Hz | 통과 | |||
| 10-100 um/s 80Hz - 800Hz | 통과 | ||||
| 수직 (보행) | 9 um/s 1Hz - 6Hz | 2 um/s @ 2Hz | 통과 | ||
| 9-20 um/s 6Hz - 30Hz | 0.966 um/s @ 9Hz | 통과 | |||
| 20-10 um/s 30Hz - 80Hz | 3 um/s @ 45Hz | 통과 | |||
| 10-100 um/s 80Hz - 800Hz | 통과 |
데이터
그림 2: 바닥 진동 전후
그림 3: MB3000 진동 전후
그림 4: 고주파 진동 전후
그림 5: 전달률 전후
그림 6: 바닥 진동 좌우
그림 7: MB3000 진동 좌우
그림 8: 고주파 진동 좌우
그림 9: 전달률 좌우
그림 10: 바닥 진동 수직
그림 11: MB3000 진동 수직
그림 12: 고주파 진동 수직
그림 13: 전달률 수직
그림 14: 바닥 진동 수직 (보행)
그림 15: MB3000 진동 수직 (보행)
그림 16: 전달률 수직 (보행)
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
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설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일11-29-2023
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DVIA-M Series
Installation Report
RAITH
