RAITH PIONEER Two EBL and SEM DVIA-MB1000 Installation Report
1. 측정 세부사항
측정일
2020년 4월 18일
측정 장비
1. LAN-XI 데이터 수집 하드웨어
– Brüel & Kjær 3050-B-040
2. 데이터 분석 소프트웨어
– Brüel & Kjær PULSE LAB SHOP 14
3. 센서
– PCB 가속도계
– 모델: 393B05
측정 위치
1층
2. 장비 정보
제조사
RAITH
모델
PIONEER Two 전자빔 리소그래피 & SEM
바닥 진동 사양
1.6 Hz 밴드부터 10 Hz 밴드(포함)까지 1/3 옥타브 RMS 진폭 스펙트럼에서 측정한 바닥 진동 속도가 1.0 μm/sec 미만이어야 합니다. 10 Hz 밴드 이상에서는 최대 속도가 2.0 μm/sec를 초과하지 않아야 합니다. (바닥 진동이 NIST-A 표준에서 정의한 사양 미만인 경우 유사한 결과를 얻을 수 있습니다.)
3. 진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-MB1000
| 플랫폼 치수 | 1140 x 910 x 224 mm | |
|---|---|---|
| 적재 하중 | 500 - 1700 kg | |
| 액추에이터 | 전자기 액추에이터 | |
| 최대 액추에이터 힘 | 수직: 40N, 수평: 20 N | |
| 자유도 | 6자유도 | |
| 액티브 진동 제어 범위 | 0.5 - 100 Hz | |
| 2 Hz 제진률 | ≥90% | |
| 10 Hz 제진률 | ≥99% | |
| 입력 전압(V) | AC100 - 240V / 50 - 60 Hz / 1A | |
| 전력 소비(W) | 최대 110W, 정상 운전 시 <50 W | |
| 운전 범위 | 온도(°C) | 5 - 50 °C |
| 습도(%) | 20 - 90% | |
| 필요 공기 압력 | ≥ 0.5 MPa (5 bar) | |
4. 설치 사진
5. 요약
진동 기준 곡선
---
| 주파수 범위 | 1-10 Hz | 10 - 80 Hz | |||
|---|---|---|---|---|---|
| 측정 방향 | Z축(수직) | X축(좌우) | Y축(전후) | Z축(수직) | X축(좌우) |
| 바닥 | VC-B (실패) | VC-D (실패) | VC-D (실패) | VC-C (실패) | VC-E (실패) |
| 액티브 진동 제어 시스템 위 | VC-G (통과) | VC-G (통과) | VC-E (통과) | VC-E (통과) | VC-G (통과) |
RAITH Pioneer Two의 바닥 진동 사양은 매우 까다로우며, 측정된 바닥 진동은 진동 사양을 충족하지 못했습니다. DAEIL SYSTEMS의 액티브 진동 제어 시스템이 Z, X, Y축 바닥 진동을 감소시켜 진동 사양 충족을 달성했습니다.
6. 결과
Z축(수직)
AVI = 액티브 진동 제어
측정된 수직 바닥 진동은 1~80 Hz에서 허용 바닥 진동 값을 초과했습니다.
DAEIL SYSTEMS의 액티브 진동 제어 시스템 설치 후 바닥 진동이 감소하여 바닥 진동 사양을 충족했습니다.
X축(좌우)
AVI = 액티브 진동 제어
10 Hz 이하 X축 바닥 진동이 허용 바닥 진동을 초과했습니다. DAEIL SYSTEMS의 액티브 진동 제어 시스템이 1~80 Hz에서 바닥 진동을 VC-E에서 VC-G로 감소시켜 진동 사양을 충족했습니다.
Y축(전후)
AVI = 액티브 진동 제어
1.6 Hz, 5 Hz, 6.3 Hz의 저주파 바닥 진동이 허용 바닥 진동 값을 초과했습니다.
DAEIL SYSTEMS의 액티브 진동 제어 시스템이 해당 진동을 감소시켜 진동 사양 충족을 달성했습니다.
7. 참조
일반 진동 기준
| 기준 곡선 | 설명 | 진폭 µm/s (µin/s) | 세부 크기 µm |
|---|---|---|---|
| Workshop (ISO) | 뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합. | 800 (32,000) | N/A |
| Office (ISO) | 감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합. | 400 (16,000) | N/A |
| Residential Area (ISO) | 거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합. | 200 (8,000) | 75 |
| Operating Theatre (ISO) | 감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합. | 100 (4,000) | 25 |
| VC-A | 400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합. | 50 (2,000) | 8 |
| VC-B | 3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합. | 25 (1,000) | 3 |
| VC-C | 1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합. | 12.5 (500) | 1 - 3 |
| VC-D | 전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합. | 6.25 (250) | 0.1 - 0.3 |
| VC-E | 나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용. | 3.12 (125) | < 0.1 |
| VC-F | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 1.56 (62.5) | N/A |
| VC-G | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 0.78 (31.25) | N/A |
참고:
VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
