본문으로 바로가기
설치 보고서
DVIA-M Series
11-30-2023

Ohio State University Nanotech West Lab Raith EPBG 5150 DVIA-MB3000 VEC (221130R3) Installation Report — 2023.11.30

DVIA-M Series
Installation Report
Ohio State University
Raith
EPBG 5150
VEC
DVIA-MB3000
221130R3

Contents

의뢰 기관

Ohio State University

작성자

Engineer: Youngha Lee

Tuning date: 23.11.30

Report written date: 23.12.19

Date of business trip : 17.12.27~17.12.29

개요

The DVIA-MB3000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

시스템 정보

Model: DVIA-MB3000 - 1800 x 1300 mm

Serial Number: 221130R3

엔지니어

Youngha Lee from DAEIL SYSTEMS

튜닝 날짜

December 19, 2023

측정 장소

Nanotech West Lab 1381 Kinnear Road Columbus, OH 43212

장비

Raith EPBG 5150

데이터 및 이미지

8.1 UI Program Transmissibility

Z-axis (Vertical)

X-axis (Left to Right)

Y-axis (Front to Back)

VEC Measurement

Z-axis (Vertical) Floor VC Curve

Z-axis (Vertical) Active VC Curve

Z-axis (Vertical) Transmissibility

X-axis (Left to Right) Floor Vibration

X-axis (Left to Right) Active Vibration

X-axis (Left to Right) High Frequency Vibration Transmissibility

Y-axis (Front to Back) Floor Vibration

Y-axis (Front to Back) MB3000 Vibration

Y-axis (Front to Back) High Frequency Vibration Transmissibility

Z-axis (Vertical) Transmissibility

X-axis (Left to Right) Transmissibility

Y-axis (Front to Back) Transmissibility

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		상세 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미량 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자 현미경(SEM/TEM) 등 고정밀 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템에 적합.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서, VC-C부터 VC-G는 1-80 Hz에서 측정됩니다.

2. 상세 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.

이 케이스 스터디 공유하기

케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일11-30-2023
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Ohio State University
Raith
EPBG 5150
VEC
DVIA-MB3000
221130R3

관련 케이스 스터디

University of North Dakota Thermo Fisher Talos F200X DVIA-MB3000 VEC (221104R3) Installation Report — 2023.08.25
DVIA-M Series

University of North Dakota Thermo Fisher Talos F200X DVIA-MB3000 VEC (221104R3) Installation Report — 2023.08.25

08-25-2023자세히
Yale School of Medicine Zeiss Versa 610 DVIA-MB3000 VEC (230110R4) Installation Report — 2023.03.10
DVIA-M Series

Yale School of Medicine Zeiss Versa 610 DVIA-MB3000 VEC (230110R4) Installation Report — 2023.03.10

03-10-2023자세히
Novartis Thermo Fisher Scientific Glacios DVIA-MB3000 (201012R5) Installation Report — 2021.04.21
DVIA-M Series

Novartis Thermo Fisher Scientific Glacios DVIA-MB3000 (201012R5) Installation Report — 2021.04.21

04-21-2021자세히