Tier-1 Semiconductor Advanced Institute EVG 6200 Aligner DVIA-P2200 Inspection Report

DVIA-P2200의 동작 상태 점검 및 진동측정.

장비 IDLE 상태로 점검 및 진동 측정 진행하였음. (일반적으로 10-30Hz 장비 진동)

패드의 X축 면이 그레이팅에 닿아 있는 문제가 있어 5-10Hz 대역에서의 성능이 저조함.

Z, Y축은 Daeilsystems 측 Program을 통한 Transmissibility Graph로 보아 올바른 동작을 하고 있음

모델: DVIA-P2200

시리얼 번호: 140416R6-6

시리얼 번호 (SAC-07): 022604

Youngha Lee, Jongwon Park from DAEIL SYSTEMS

2023년 12월 12일

SAIT Cleanroom Building A, Suwon

Aligner EVG 6200

상부 장비 IDLE 상태로 점검 진행

일반적으로 장비가 IDLE 상태일 때, 10-30Hz 대역 또는 고주파 대역에서 장비진동이 발생하므로 상판 측정 시 해당 진동이 측정될 수 있습니다.

패드가 그레이팅과 닿은 상태의 영향으로 X축 저주파의 상판 진동이 하판 진동보다 크게 측정되었습니다.

제진대의 정확한 점검 및 튜닝을 위해서는 상부장비의 완전한 Turn off가 필요합니다.

8.1) PULSE 22

Hardware: Bruel & Kjaer Type 3050-A-040

Software: LapShop Application(PULSE Lapshop)

8.2) Accelerometer

PCB Accelerometer

Model: 393B05

가속도 센서와 변위 센서가 진동의 변화를 올바르게 센싱하고 정상 작동합니다.

Passive Transmissibility Graph에서 DVIA-P의 공진봉이 10Hz 이하로 올바르게 출력됩니다.

12Hz, 16Hz, 20Hz이상의 대역에 여러 개의 공진봉은 장비 IDLE 상태 진동에 의한 공진봉으로 추측됩니다.

Active Transmissibility Graph에서는 2-7Hz 대역의 Transmissibility가 0dB 근처로 성능이 저조하지만 증폭되지 않고, 16Hz, 20Hz이상 대역에서 장비 IDLE 진동에 의한 공진봉이 여러 개 있습니다.

나머지 대역에서는 Transmissibility 수치 -10dB 혹은 그 이상으로 올바른 제진 동작을 하고 있습니다.

Passive Transmissibility Graph에서 DVIA-P의 공진봉이 10Hz 근처로 올바르게 출력됩니다.

Transmissibility Graph의 모양이 비대칭형으로 Utility 구조나 장비의 영향이 있음으로 보입니다. 또한 26Hz대역의 공진봉은 장비 IDLE 상태 진동에 의한 공진봉으로 추측됩니다.

Active Transmissibility Graph에서는 10-20Hz 대역의 Transmissibility가 0dB 근처로 성능이 저조한 것으로 보아 Utility혹은 다른 것에 의해 붙잡혀 있는 구조를 의심할 수 있습니다.

또한, 26Hz 대역의 공진봉은 장비 IDLE 상태 진동에 의한 공진봉으로 추측됩니다.

나머지 대역에서는 Transmissibility 수치 -10dB 혹은 그 이상으로 올바른 제진 동작을 하고 있습니다.

Passive Transmissibility Graph에서 DVIA-P의 공진봉이 10Hz 근처로 올바르게 출력됩니다.

Transmissibility Graph의 모양이 뭉툭하며 10dB이하로 Utility 구조나 장비의 영향이 있음으로 보입니다. 또한 37Hz대역의 공진봉은 장비 IDLE 상태 진동에 의한 공진봉으로 추측됩니다.

Active Transmissibility Graph에서는 10Hz 대역의 Transmissibility가 -10dB에 못 미치는 것으로 보아 Utility 혹은 다른 것에 의해 붙잡혀 있는 구조를 의심할 수 있습니다.

또한, 37Hz 대역의 공진봉은 장비 IDLE 상태 진동에 의한 공진봉으로 추측됩니다.

나머지 대역에서는 Transmissibility 수치 -10dB 혹은 그 이상으로 올바른 제진 동작을 하고 있습니다.

저주파 대역에서는 VC-F 이하로 진동이 적어 비례진동의 특성상 낮은 감쇠율이 출력됩니다.

위 그래프에서 10-50Hz 대역에서 하판의 진동보다 상판이 진동이 더 크게 출력되는데 Daeil UI Program Transmissibility Graph과 비교하여 확인 시 해당 진동은 상부 장비의IDLE상태 진동으로 추측됩니다.

저주파 대역에서는 VC-F 이하로 진동이 적어 비례진동의 특성상 낮은 감쇠율이 출력됩니다.

위 그래프에서 5-10Hz 대역에서 하판의 진동보다 상판이 진동이 더 크게 출력되는데 다른 축들은 정상적인 제진을 하는 것으로 보아 X축 방향으로 설치 구조에 문제가 있거나 상부 장비의 IDLE 진동에 대한 영향을 의심할 수 있습니다. (그레이팅이 닿아 있는 상태 문제)

상부 장비 Turn off 후 그레이팅 제거 전/후 비교 및 튜닝을 통한 점검이 필요합니다.

1-4Hz 저주파 대역에서는 VC-G 이하로 진동이 적어 비례진동의 특성상 낮은 감쇠율이 출력됩니다.

IDLE상태의 장비진동에 의해 30-50Hz 대역에서 하판 진동 대비 상판 진동이 역전되거나 낮게 출력됩니다.

장비가 올라가 있는 패드의 X축 면이 그레이팅과 닿아 있는 상태로 X축 제진 성능 저하에 영향을 끼치고 있습니다. 구조적인 점검이 필요합니다.