Tier-1 Semiconductor Advanced Institute CDSEM S-9220T DVIA-P2200 Inspection Report
Contents
개요
DVIA-P2200의 동작 상태 점검 및 진동측정.
장비 IDLE 상태로 점검 및 진동 측정 진행하였음. (일반적으로 10-30Hz 장비 진동)
Z축에서는 장비 IDLE 진동으로 인해 측정 결과는 불확실하지만 Daeilsystems 측 Program을 통한 Transmissibility Graph로 보아 올바른 동작을 하고 있음
X, Y축에서의 성능이 저조하여 장비 Turn off 상태에서의 추가적인 튜닝이 필요함.
시스템 정보
Model: DVIA-P2200
Serial Number: 140416R6-4
Serial Number (SAC-07): 022602
엔지니어
Youngha Lee, Jongwon Park from DAEIL SYSTEMS
점검 일자
December 12, 2023
보고서 작성일
23.12.18
출장 일자
17.12.27~17.12.29
위치
SAIT Cleanroom Building A, Suwon
End User
Tier-1 Semiconductor Advanced Institute
장비
CDSEM S-9220T
진동 결과 요약
| 측정 지점 | Z-axis (Vertical) 1-10 Hz | Z-axis (Vertical) 12.5-80 Hz | X-axis (Left to Right) 1-10 Hz | X-axis (Left to Right) 12.5-80 Hz | Y-axis (Front to Back) 1-10 Hz | Y-axis (Front to Back) 12.5-80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | E | D | E | B | F | B |
| Active | F | D | D | C | F | D |
일반적으로 장비가 IDLE 상태일 때, 10-30Hz 대역 또는 고주파 대역에서 장비진동이 발생하므로 상판 측정 시 해당 진동이 측정될 수 있습니다.
정확한 제진대의 성능을 점검하기 위해서는 상부장비의 완전한 Turn off가 필요합니다.
X, Y축의 성능이 저조하여 추가적인 튜닝작업이 필요합니다.
진동 측정
8.1) PULSE 22
Hardware: Bruel & Kjaer Type 3050-A-040
Software: LapShop Application(PULSE Lapshop)
8.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
데이터 및 이미지
Accelerometer Sensor
Displacement Sensor
가속도 센서와 변위 센서가 진동의 변화를 올바르게 센싱하고 정상 작동합니다.
Z-axis (Vertical) Passive Transmissibility
Z-axis (Vertical) Feedforward Transmissibility, FFT Vibration (Floor, Active)
Passive Transmissibility Graph에서 DVIA-P의 공진봉이 10Hz 이하로 올바르게 출력됩니다.
Active Transmissibility Graph에서 1.5, 2.5 Hz대역의 Transmissibility가 0dB 이상으로 출력되지만 진동이 -80dB이하로 매우 적기 때문에 일어나는 현상입니다.
나머지 대역에서는 모두 -10dB 혹은 그 이상으로 올바른 제진 동작을 하고있습니다.
X-axis (Left to Right) Passive Transmissibility
X-axis (Left to Right) Transmissibility, FFT Vibration (Floor, Active)
Passive Transmissibility Graph에서 DVIA-P의 공진봉이 10Hz 이하로 올바르게 출력됩니다.
Active Transmissibility Graph는 Passive Transmissibility Graph와 비슷한 형태로 2-10Hz의 Transmissibility가 0dB이상으로 진동 감쇠가 일어나지 않고 있습니다.
이는 CD SEM 장비의 IDLE 상태 진동 영향일 수 있지만 형태로 보아 가능성은 낮습니다.
CD SEM 장비 Turn off 상태에서 제진대 튜닝 작업이 필요합니다.
Y-axis (Front to Back) Passive Transmissibility
Y-axis (Front to Back) Transmissibility, FFT Vibration (Floor, Active)
Passive Transmissibility Graph에서 DVIA-P의 공진봉이 10Hz로 올바르게 출력됩니다.
Active Transmissibility Graph는 2-10Hz, 15-20Hz의 Transmissibility가 0dB근처에서 진동 감쇠가 효과가 저조합니다.
이는 CD SEM 장비의 IDLE 상태 진동 영향일 수 있지만 형태로 보아 튜닝작업을 통해 Feedforward Gain값의 수정이 필요해 보입니다.
CD SEM 장비 Turn off 상태에서 제진대 튜닝 작업이 필요합니다.
Z-axis (Vertical) VC curves
1-8Hz 대역에서는 VC-G 이하로 진동이 적어 비례진동의 특성상 낮은 감쇠율이 출력됩니다.
15-40Hz 대역에서 장비 진동의 영향으로 하판보다 상판이 더 높은 진동이 측정되었습니다.
Daeil UI Program의 Z축 Transmissibility Graph는 정상 출력된 것으로 보아 장비 IDLE 상태 진동으로 추측됩니다.
Z-axis (Vertical) VC curves (21.12.15 측정)
X-axis (Left to Right) VC curves
Daeil UI Program에서도 확인했듯이, 4-13Hz저주파 대역에서 비례적인 진동 증폭이 출력됩니다.
이는 패시브 형태의 그래프로 정상적인 Gain값을 벗어난 설정으로 생기는 제어력 미달로 최초 설치 시 튜닝이 이루어졌다면 Utility의 추가, 주변환경의 변화로 인해 발생하는 경우가 있습니다.
혹은 IDLE 상태의 장비진동에 의한 영향일 수 있겠지만, 확인을 위해 장비를 Turn off하고 X축에 대한 추가적인 튜닝 시도가 필요합니다.
X-axis (Left to Right) VC curves (21.12.15 측정)
Y-axis (Front to Back) VC curves
Daeil UI Program에서도 확인했듯이, 2-10Hz, 15-20Hz대역의 진동이 바닥보다 상판이 같거나 큽니다.
올바른 FeedForward Gain값을 벗어난 설정으로 생기는 제어력 부족으로 보입니다.
IDLE 상태의 장비진동에 의한 영향일 수 있겠지만, 확인을 위해 장비를 Turn off하고 Y축에 대한 추가적인 튜닝 시도가 필요합니다.
Y-axis (Front to Back) VC curves (21.12.15 측정)
참조
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
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