Tier-1 Semiconductor Advanced Institute Aligner MA-200C DVIA-P2200 Inspection Report
Contents
개요
DVIA-P2200의 동작 상태 점검 및 진동측정.
장비 IDLE 상태로 점검 및 진동 측정 진행하였음. (일반적으로 10-30Hz 장비 진동)
장비 IDLE 진동으로 인해 측정 결과는 불확실하지만 Daeilsystems 측 Program을 통한 Transmissibility Graph로 보아 올바른 동작을 하고 있음
시스템 정보
Model: DVIA-P2200
Serial Number: 140416R6-5
Serial Number (SAC-07): 022470
엔지니어
Youngha Lee, Jongwon Park from DAEIL SYSTEMS
점검 일자
2023년 12월 12일
위치
Tier-1 Semiconductor Advanced Institute Cleanroom Building A, Suwon
장비
Aligner MA-200C
진동 결과 요약
| 측정 지점 | Z축 (Vertical) 1-10 Hz | Z축 (Vertical) 12.5-80 Hz | X축 (Left to Right) 1-10 Hz | X축 (Left to Right) 12.5-80 Hz | Y축 (Front to Back) 1-10 Hz | Y축 (Front to Back) 12.5-80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | F | A | D | A+ | D | A |
| Active | D | C | D | C | C | C |
상부 장비 IDLE 상태로 점검 진행
일반적으로 장비가 IDLE 상태일 때, 10-30Hz 대역 또는 고주파 대역에서 장비진동이 발생하므로 상판 측정 시 해당 진동이 측정될 수 있습니다.
제진대의 정확한 점검 및 튜닝을 위해서는 상부장비의 완전한 Turn off가 필요합니다.
진동 측정
8.1) PULSE 22
Hardware: Bruel & Kjaer Type 3050-A-040
Software: LapShop Application(PULSE Lapshop)
8.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
데이터 및 이미지
Accelerometer Sensor
Displacement Sensor
Z-axis (Vertical) Passive Transmissibility
Z-axis (Vertical) Feedforward Transmissibility, FFT Vibration (Floor, Active)
Passive Transmissibility Graph에서 DVIA-P의 공진봉이 10Hz 이하로 올바르게 출력됩니다.
Active Transmissibility Graph는 약 22Hz, 60Hz대역에서 장비 IDLE 상태 진동으로 추측되는 Transmissibility값 0dB 이상 출력 공진봉이 있습니다.
나머지 대역에서는 모두 -10dB 혹은 그 이상으로 올바른 제진 동작을 하고 있습니다.
X-axis (Left to Right) Passive Transmissibility
X-axis (Left to Right) Transmissibility, FFT Vibration (Floor, Active)
Passive Transmissibility Graph에서 DVIA-P의 공진봉이 10Hz 이하로 올바르게 출력되지만 그래프 모양이 깨끗하지 않은 것으로 보아 Utility의 영향 혹은 장비 IDLE 상태의 진동 영향을 받고 있는 것으로 보입니다.
Active Transmissibility Graph는 2.5 Hz대역의 Transmissibility가 0dB 이상 출력되지만 진동이 -80 dB이하로 매우 적기 때문에 일어나는 현상입니다.
약 10-20Hz대역에서 장비 IDLE 상태 진동으로 추측되는 Transmissibility값 0dB 이상 출력 공진봉이 있습니다.
나머지 대역에서는 모두 -10dB 혹은 그 이상으로 올바른 제진 동작을 하고 있습니다.
Y-axis (Front to Back) Passive Transmissibility
Y-axis (Front to Back) Transmissibility, FFT Vibration (Floor, Active)
Passive Transmissibility Graph에서 DVIA-P의 공진봉이 10Hz 이하로 올바르게 출력되지만 그래프 모양이 깨끗하지 않은 것으로 보아 Utility의 영향 혹은 장비 IDLE 상태의 진동 영향을 받고 있는 것으로 보입니다.
Active Transmissibility Graph는 2.5 Hz대역의 Transmissibility가 0dB 이상 출력되지만 진동이 -80 dB이하로 매우 적기 때문에 일어나는 현상입니다.
약 20z대역에서 장비 IDLE 상태 진동으로 추측되는 Transmissibility값 0dB 이상 출력 공진봉이 있습니다.
나머지 대역에서는 모두 -10dB 혹은 그 이상으로 올바른 제진 동작을 하고 있습니다.
Z-axis (Vertical) VC curves
1-8Hz 대역에서는 VC-G 이하로 진동이 적어 비례진동의 특성상 낮은 감쇠율이 출력됩니다.
8-40Hz 대역에서 장비 진동의 영향으로 하판보다 상판이 더 높은 진동이 측정되었습니다.
Daeil UI Program의 Z축 Transmissibility Graph는 정상 출력된 것으로 보아 장비 IDLE 상태 진동으로 추측됩니다.
Z-axis (Vertical) VC curves (21.12.15 측정)
X-axis (Left to Right) VC curves
1-3Hz 대역에서는 VC-G 이하로 진동이 적어 비례진동의 특성상 낮은 감쇠율이 출력됩니다.
6-15Hz 대역에서 장비 진동의 영향으로 하판보다 상판이 더 높은 진동이 측정되었지만, 장비 IDLE 상태에 의한 진동, 혹은 Utility의 영향으로 추측됩니다.
X-axis (Left to Right) VC curves (21.12.15 측정)
Y-axis (Front to Back) VC curves
1-3Hz 대역에서는 VC-G 이하로 진동이 적어 비례진동의 특성상 낮은 감쇠율이 출력됩니다.
7-10Hz 대역에서 장비 진동의 영향으로 하판보다 상판이 더 높은 진동이 측정되었지만, 장비 IDLE 상태에 의한 진동, 혹은 Utility의 영향으로 추측됩니다.
Y-axis (Front to Back) VC curves (21.12.15 측정)
참고자료
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
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