BRUKER Korea Demo실 — ZEISS SUPRA 55VP DVIA-MB1000 (140408R5) installation report — 2024-08-02
Contents
Customer
BRUKER Korea
Author
엔지니어: 이채원
튜닝 날짜: 24.08.02
보고서 작성일: 24.08.02
Overview
가든파이브(송파)에 이전 설치된 DVIA-MB1000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 안착 후 Turned off 상태로 진동측정 및 튜닝 진행하였습니다.
제진대 상부와 다량의 케이블이 접촉되고 있는 것을 확인하였습니다. 이는 제진대 성능에 영향을 줄 수 있습니다.
DVIA-MB1000을 노트북과 연결하여 UI software을 통해 피드백과 피드포워드 튜닝 및 Brüel & Kjær사의 DAQ 측정장비를 이용하여 진동측정으로 성능점검을 진행했습니다.
Data를 VC-Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
Vibration Isolation System Info
제진대
모델: DVIA-MB1000
시리얼 넘버: 140408R5
Engineer
대일시스템 필드엔지니어 이채원
Tuning Date
2024년 08월 02일
Installation Site
가든파이브 툴관 5층 BRUKER Korea Demo실
Equipment
Manufacturer: ZEISS
Equipment: FE-SEM
Model: SUPRA 55VP
Equipment Condition
장비 제진대위에 안착(Turned off)
Number of Tuning Trial
2회차
Measurement Device
9.1) Brüel & Kjær LAN-XI DAQ Type 3050
-Hardware: B&K Front End Type 3050-A-040
-Software: B&K Pulse Labshop 22 Version
9.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
Measurement Setup
Bandwidth: 200 Hz
Lines: 800
Averaging: Spectrum Averaging
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Overlap: Max
Conclusion
Vertical: 5 Hz와 63 Hz를 제외한 모든 대역대에서 VC-G가 측정됩니다.
Left to Right: 모든 대역대에서 VC-G가 측정됩니다.
Front to Back: 1 Hz를 제외한 모든 대역대에서 VC-G가 측정됩니다.
Measurement Summary
| Measurement site | State | Direction | Measurement data | Measurement result | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | DVIA-MB1000 | Floor | DVIA-MB1000 | |||
| 가든파이브 툴관 5층 BRUKER Korea Demo실 위치: Demo실 1. 바닥 2. DVIA-MB1000 | 설치완료 /Turn off | Vertical | 3.81E-06 m/s @ 5 Hz | 1.03E-06 m/s @ 5 Hz | VC-D | VC-F |
| 4.53E-06 m/s @ 12.5 Hz | 2.76E-07 m/s @ 12.5 Hz | VC-D | VC-G | |||
| Left to Right | 1.31E-06 m/s @ 2.5 Hz | 2.01E-07 m/s @ 2.5 Hz | VC-F | VC-G | ||
| 2.55E-06 m/s @ 12.5 Hz | 3.06E-07 m/s @ 12.5 Hz | VC-E | VC-G | |||
| Front to Back | 3.70E-06 m/s @ 2 Hz | 7.34E-07 m/s @ 2 Hz | VC-D | VC-G | ||
| 1.87E-06 m/s @ 31.5 Hz | 3.87E-07 m/s @ 31.5 Hz | VC-E | VC-G | |||
Data and Image
Vertical VC Curves
Vertical Narrow Band
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Narrow Band
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Narrow Band
Front to Back Transmissibility
Reference
Generic Vibration Criteria
Notes:
- As measured in one-third octave bands over 8-80 Hz (VC-A/B) or 1-80 Hz (VC-C through VC-G).
- Detail size refers to width in microelectronics fabrication or particle size in medical research.
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