도입사례

ASE 코리아 PB1, 1CMD QO Lab, 전자현미경실에 설치된 TESCAN FIB-SEM SOLARIS X2 GMH 장비에 적용한 DVIA-ML1000(시리얼 260622R4) 설치 보고서입니다. 2026.09.11 튜닝을 마친 뒤 장비를 IDLE 상태로 두고 진동을 측정했습니다. 세 축 모두 기준 스펙을 충족해 PASS 판정을 받았으며, 수직축은 VC-B에서 VC-E로, 좌우축은 VC-E에서 VC-G로, 전후축은 VC-B에서 VC-F로 성능이 개선되었습니다.

Pharrics BV(Leuven)의 MPI Corporation MPI TS150 프로브 스테이션에 DVIA-T67(시리얼 260402R1)을 설치한 설치 보고서입니다. 정의된 진동 스펙이 없는 상태에서 프로브 스테이션을 시스템에 장착한 상태로 장비를 Idle 조건에서 튜닝 및 진동 측정 수행했습니다. 결과는 축별 Autospectrum와 VC Curves 플롯과 IEST-RP-CC012.2 진동 기준 분류표를 함께 게시합니다.

YIMOTECH ZEISS Sigma 360 FE-SEM DVIA-ML1000 설치 보고서 — 중국 광저우(Guangzhou)의 최종 사용자 레조낙 일렉트로닉 머티리얼즈(Resonac Electronic Materials) 현장에 DVIA-ML1000 액티브 제진 플랫폼을 설치한 뒤, 장비를 Turned off 상태로 두고 2차 재튜닝과 진동 측정을 진행했습니다. Sigma 360의 수평·수직 허용 진동 사양(1~100 Hz, mm/s² RMS) 기준으로 바닥은 수직·전후 축에서 허용치를 넘어 FAIL이었으나, DVIA-ML1000 플랫폼 위에서는 세 축 모두 PASS 판정을 받았습니다. 튜닝 요청서(调试请求书), 허용 진동 사양 표, 축별 Autospectrum 측정 그래프를 게시하며, 현장 정책상 설치 사진 촬영은 허용되지 않았습니다.

중국 우하이(Wuhai)의 Inner Mongolia Xingfa Technology Co., Ltd.(End User) 현장의 ZEISS Sigma360 FE-SEM에 적용한 DVIA-ULF700(시리얼 260605R5) 설치 보고서입니다. 2026.09.04 튜닝을 마친 뒤 장비를 IDLE 상태로 두고 설치 바닥과 DVIA-ULF700 상판 두 지점에서 진동을 측정했습니다. 바닥에서는 세 축 모두 기준을 초과했으나, DVIA-ULF700 상판에서는 세 축 모두 ZEISS가 요구하는 진동 스펙을 충족해 현장의 환경 진동이 제진대에서 감쇠되는 것을 확인했습니다. 튜닝 요청 작업지시서(调试请求书), UI 프로그램으로 취득한 축별 Autospectrum 그래프, 설치 현장 사진 1장을 함께 게시합니다.

Tier-1 Semiconductor 이천사업장 P&T4 1층 연구실의 OLYMPUS MX63L 현미경에 DVIA-T78(시리얼 260819S1)을 설치하고 진행한 설치 보고서 및 데모 테스트 결과입니다. 해당 현미경은 명확한 진동 허용 스펙이 정의돼 있지 않았지만, 운용 중 이미지 해상도가 떨어지고 육안으로 확인되는 흔들림과 노이즈가 발생했으며 기존 수동형(Passive) 제진대만으로는 개선이 충분하지 않았습니다. IDLE 상태에서 B&K Front End Type 3040-A-040과 PCB 393B05 가속도계로 DVIA-T78 상판 데모 테스트 2회, 기존 Passive 제진대 상판 기준 측정 2회를 수행했습니다. 액티브 제진대 적용 후에는 수직·좌우·전후 3축 모두 VC-D~VC-E 수준으로 안정화됐고, 현미경 이미지의 흔들림과 노이즈가 완전히 사라져 선명한 해상도를 확보했습니다. 축별 Autospectrum·VC Curves 24장과 IEST-RP-CC012.2 진동 수준 분류표를 함께 게시합니다.

Hubei University of Technology 우한에 설치된 RAITH Electron Beam Lithography(Pioneer Two) 장비에 적용한 DVIA-ML1000(시리얼 260209R6) 설치 보고서입니다. 2026.08.25에 튜닝을 마친 뒤 장비를 Turned off 상태로 두고 진동을 측정했습니다. 의미 있는 바닥 진동이 존재하는 주파수 대역에서 효과적인 감쇠를 확인했고, 해당 사이트가 장비 운영에 적합하다는 결론을 내렸습니다.