Hubei University of Technology RAITH Electron Beam Lithography Pioneer Two DVIA-ML1000 설치 보고서
Contents
개요
우한(Wuhan)에 DVIA-ML1000 설치 후 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 Turned off 상태로 점검 및 진동 측정 진행하였습니다.
Data를 Autospectrum으로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-ML1000
시리얼 넘버: 260209R6
엔지니어
김태헌 · 대일시스템
튜닝 날짜
2026.08.25
End User
Hubei University of Technology
튜닝 횟수
1st
설치 장소
Wuhan
고객사 장비
제조사: RAITH
장비명: Electron Beam Lithography
모델: Pioneer Two
진동 스펙
수평
| 주파수 [Hz] | 스펙 [µm/s RMS] |
|---|---|
| 1 | 0.8 |
| 16 | 0.8 |
| 16 | 1 |
| 100 | 1 |
수직
| 주파수 [Hz] | 스펙 [µm/s RMS] |
|---|---|
| 1 | 0.8 |
| 16 | 0.8 |
| 16 | 1 |
| 100 | 1 |
장비 상태
Turned off
Tuning Request
결론
진동 측정 결과, DVIA-ML1000 능동 제진 시스템이 의미 있는 바닥 진동이 존재하는 주파수 대역 전반에 걸쳐 효과적인 감쇠를 제공하는 것으로 확인되었습니다.
수평(X, Y) 축에서는 1–2 Hz 대역의 주변 바닥 진동이 측정 시스템의 노이즈 플로어에 근접할 정도로 매우 낮게 나타났습니다. 이 때문에 해당 좁은 대역의 전달률 데이터에서는 바닥 입력 대비 경미한 증폭이 관찰됩니다. 다만 이 구간에서의 절대 진동 진폭은 수십 나노미터 수준에 그쳐 RAITH PIONEER SEM의 이미징 또는 리소그래피 성능에 측정 가능한 영향을 줄 임계값을 크게 하회하며, 이는 측정 분해능 한계 근처의 입력 여기 환경에서 작동하는 능동 제진 시스템 특유의 특성으로 제진 성능의 결함을 의미하지 않습니다.
식별 가능한 바닥 진동이 존재하는 모든 주파수 대역에서 시스템은 명확하고 일관된 감쇠를 보여주어, 해당 설치가 의도한 제진 목적을 충족하고 있음을 확인했습니다. 이에 따라 본 사이트는 설치된 장비의 운용에 적합하다고 판단됩니다.
측정 데이터 요약
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | 측정 결과 | |
|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-ML1000 | |||
| 1. 바닥 2. DVIA-ML1000 | Section 9 참조 | 수직 | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| 좌우 | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| 전후 | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
UI 프로그램 측정 데이터
Vertical
Vertical — Autospectrum
Left to Right
Left to Right — Autospectrum
Front to Back
Front to Back — Autospectrum
설치 사진
장비
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
참고:
1. 8~80Hz(VC-A 및 VC-B) 또는 1~80Hz(VC-C~VC-G) 주파수에 대한 1/3 옥타브 대역에서 측정됨.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 경우 폭, 의료 및 제약 연구의 경우 입자(세포) 크기 등을 나타냅니다. 이는 프로브 기술, AFM 및 나노기술과 관련된 이미징에 해당합니다.
이 표에 제공된 정보는 참고용입니다. 대부분의 경우 장비 및 공정의 응용 분야와 진동 요구 사항에 대해 잘 알고 있는 전문가의 조언을 구하는 것이 좋습니다.
