도입사례
대일시스템은 전 세계에서 가장 까다로운 나노 스케일 이미징 및 정밀 계측 현장을 위한 액티브 제진 시스템을 설계하며, 수많은 설치 리포트를 통해 그 흔들림 없는 성능을 매일 증명하고 있습니다.
시리즈
장비 유형
제조사
전체 도입사례
Tier-1 Semiconductor 기흥 SR1 BRUKER Photomask Repair System RAVE NM-VI DVIA-P4000 설치 보고서
Tier-1 Semiconductor 기흥 SR1 BRUKER Photomask Repair System RAVE NM-VI DVIA-P4000 설치 보고서
ELP 화질검사 설비 DVIA-ULFB350 설치 보고서
ELP 클린룸 A동에 설치된 화질검사 설비용 DVIA-ULFB350 (S/N 250617R4) 설치 보고서. 장비 설치 및 Turned off 상태에서 수직·좌우·전후 VC 곡선, Autospectrum, 전달률 측정.
Huahong Dongfang Jingyuan SEpA_i515 DVIA-P7000 설치 보고서
Huahong FAB 9 소재 Dongfang Jingyuan Electron Limited E-beam 웨이퍼 검사 시스템(SEpA_i515)용 DVIA-P7000 설치 보고서(시리얼 250131R4). 원본 DVIA-P7000_250131R4 installation report.docx; 튜닝 2025-07-25; 보고서 작성 2025-07-28. 수직·좌우·전후 VC 곡선 게시. Word 상단 머리말 그림(image1)은 공개본 제외; Reference는 사이트 VC 기준 표로 대체(image5.emf 미게시).
한국과학기술연구원 JEOL JBX-A9 전자빔 리소그래피 DVIA-P4000 설치 보고서
JEOL JBX-A9 전자빔 리소그래피 장비용 DVIA-P4000(시리얼 231101R8)을 한국과학기술연구원 L3동 1F Line에서 튜닝·진동측정한 설치 보고서입니다. 담당 대일시스템 필드엔지니어 이채원, 측정 2025년 7월 22일, 보고서 작성 2025년 7월 23일. 진동 스펙 화면 캡처와 축별 VC·Autospectrum·전달률 플롯, 측정 요약 표를 게시하고 참고 자료 Generic Vibration Criteria는 마크다운 표만 제공합니다(문서 상단 Bruker 슬로건 배너 및 Word 참조 EMF는 공개 업로드 생략).
한국기계연구원 이엘 고진공 챔버 DVIA-P2200 설치 보고서
한국기계연구원 L2동 1층 연구실에서 이엘(EL) 고진공 챔버용 DVIA-P2200(시리얼 250122R1-1) 설치 보고서. 진동 특성 검토·진동측정 일자는 2025년 7월 15일, 대일시스템 필드 엔지니어 이채원. 게시 그림: 축별 VC·Autospectrum·Transmissibility 및 장비 사진. 참고자료 진동 허용 곡선은 마크다운 표만 제공합니다.