설치 보고서
DVIA-ULF Series
08-27-2025
COXEM DVIA-ULFB1000 Installation Report
DVIA-ULF Series
Installation Report
COXEM
목차
개요
DVIA-ULFB1000 액티브 제진 플랫폼이 적절히 설치되어 정상적으로 작동하고 있습니다.
진동 제어 시스템 정보
- 모델: DVIA-ULFB1000
- 시리얼 번호: 250711R2
엔지니어
대일시스템 이채원
측정 날짜
2025년 8월 27일
위치
대한민국 대전 미건테크노월드
최종 사용자
COXEM
장비 상태
장비 설치 완료 / 전원 꺼짐
장비 정보
- 제조사: ZEISS
- 장비: FE-SEM
- 모델: SUPRA 55VP
진동 사양
측정 장비
- Data Physics DAQ
- 하드웨어: QUATTRO, 시리얼 번호: 22436
- 소프트웨어: SignalCalc ACE
- 가속도계: PCB 393B05
측정 설정
- 주파수 범위: 0 - 200 Hz
- 라인: 3200
- 단위: m/s2
-윈도우: Hanning
- 평균화: FFT 스펙트럼 평균화
- 평균 모드: 지수, 40
결론
진동 제어 시스템이 모든 방향에서 뛰어난 성능으로 진동 사양을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 지점 | 상태 | 방향 | 측정 데이터 | 결과 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-ULFB1000 | 바닥 | DVIA-ULFB1000 | |||
| 미건테크노월드 2209호 1. 바닥 2.DVIA-ULFB1000 | 장비 설치 완료 / 전원 꺼짐 | 수직 | VC-D @31.5 Hz | VC-G @31.5 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
| 좌우 | VC-E @1.6 Hz | VC-F @1.6 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| 전후 | VC-D @1 Hz | VC-G @1 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
데이터 및 이미지
수직 VC 곡선
수직 자동 스펙트럼
수직 전달률
좌우 VC 곡선
좌우 자동 스펙트럼
좌우 전달률
전후 VC 곡선
전후 자동 스펙트럼
전후 전달률
장비 사진
참고 자료
일반 진동 기준
| 기준 곡선 | 설명 | 진폭 µm/s (µin/s) | 상세 크기 µm |
|---|---|---|---|
| Workshop (ISO) | 뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합. | 800 (32,000) | N/A |
| Office (ISO) | 감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합. | 400 (16,000) | N/A |
| Residential Area (ISO) | 거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 수면 구역에 적합. | 200 (8,000) | 75 |
| Operating Theatre (ISO) | 감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합. | 100 (4,000) | 25 |
| VC-A | 400배율 광학 현미경, 미량 저울, 광학 저울에 적합. | 50 (2,000) | 8 |
| VC-B | 3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합. | 25 (1,000) | 3 |
| VC-C | 1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합. | 12.5 (500) | 1 - 3 |
| VC-D | 전자 현미경(SEM/TEM) 등 고정밀 장비에 적합. | 6.25 (250) | 0.1 - 0.3 |
| VC-E | 나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템에 적합. | 3.12 (125) | < 0.1 |
| VC-F | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 1.56 (62.5) | N/A |
| VC-G | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 0.78 (31.25) | N/A |
참고:
1. VC-A/B는 8-80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서, VC-C부터 VC-G는 1-80 Hz에서 측정됩니다.
2. 상세 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
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설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일08-27-2025
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DVIA-ULF Series
Installation Report
COXEM
