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설치 보고서
DVIA-ULF Series
05-21-2026

COXEM FX-2000 Schottky FE-SEM DVIA-ULFB700 (260423R1-2) Installation Report

DVIA-ULF Series
Installation Report
COXEM
COSEM
FX-2000
Schottky FE-SEM
DVIA-ULFB700
260423R1-2

목차

개요

대전 유성구 미건테크노월드 1호 2층 코셈에 설치된 DVIA-ULFB700 튜닝 및 진동 측정 진행하였습니다.

장비 Turned on/IDLE 상태로 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.

본 보고서는 내부 보고용으로 작성되었습니다.

제진대

모델: DVIA-ULF700

시리얼 넘버: 260423R1-2

엔지니어

대일시스템 필드엔지니어 이채원, 김주혁

튜닝 날짜

2026년 05월 21일

설치 장소

대전 유성구 미건테크노월드 1호 2층 코셈

End User

코셈

고객사 장비

Manufacturer: COSEM

Equipment: Schottky Field Emission SEM

Model: FX-2000

장비 스펙

-VC E

장비상태

장비 설치 및 Turned on/IDLE

결론

Passive

10Hz 이상부터 바닥진동이 감쇠되는 것으로 보아 성능이 잘 나옵니다.

Active

모든 방향에서 성능을 만족합니다.

측정 데이터

12-1) Passive

측정 장소상태진동 스펙방향바닥진동DVIA-ULFB700
코셈
1. 바닥진동
2. DVIA-ULFB700		Turned on/IDLEVC-EVerticalVC-CVC-C
Left to RightVC-DVC-E
Front to BackVC-GVC-G
측정 장소상태진동 스펙방향바닥진동DVIA-ULFB700
코셈
1. 바닥진동
2. DVIA-ULFB700		Turned on/IDLEVC-EVerticalVC-C
@ 12.5 Hz		VC-F
@ 12.5 Hz
Left to RightVC-D
@ 1.6 Hz		VC-F
@ 1.6 Hz
Front to BackVC-E
@ 10 Hz		VC-F
@ 10 Hz

12-3) Data Obtained Via UI Program

측정 장소상태방향바닥진동DVIA- ULFB700
코셈
1. 바닥진동
2. DVIA- ULFB700		Turned on/IDLEVerticalVC-B
@ 1.6 Hz		VC-G
@ 1.6 Hz
Left to RightVC-E
@ 12.5 Hz		VC-G
@ 12.5 Hz
Front to BackVC-E
@ 2 Hz		VC-G
@ 2 Hz

데이터&이미지

12-1) Passive

Vertical VC Curves

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Autospectrum

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Autospecturm

Front to Back Transmissibility

12-2) Active

Vertical VC Curves

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Autospectrum

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Autospecturm

Front to Back Transmissibility

12-3) Data Obtained Via UI Program

Vertical VC Curves

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Autospectrum

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Autospecturm

Front to Back Transmissibility

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일05-21-2026
태그
DVIA-ULF Series
Installation Report
COXEM
COSEM
FX-2000
Schottky FE-SEM
DVIA-ULFB700
260423R1-2

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