Coxem Schottky Field Emission SEM DVIA-ULFB700 Installation Report
Contents
개요
코셈 기술 연구소 5층에 DVIA-ULFB700 설치 후 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 설치 및 Turned on/IDLE 상태로 점검 및 진동 측정 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-ULFB700
시리얼 넘버: 260423R1-2
엔지니어
박동규 박규민 · 대일시스템
튜닝 날짜
2026.07.06
설치 장소
코셈 기술 연구소 5층
End User
고객사: 코셈
고객사 장비
제조사: Coxem
장비명: Schottky Field Emission SEM
모델: FX-2000
진동 스펙
VC-E
장비 상태
장비 설치 및 Turned on/IDLE
진동 측정 장비
10.1) Measurement Equipment
하드웨어: B&K Front End Type 3040-A-040
소프트웨어: B&K Pulse Labshop22 Version
10.2) Accelerometer
PCB 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 2400
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
결론
점검 결과, X, Y, Z축 모두 요구 스펙을 정상적으로 만족함을 확인하였습니다.
제진대 상부 장비의 팬 가동으로 인해 다소 강한 진동과 소음이 발생하고 있으나, 해당 환경에서도 요구 스펙을 모두 충족하고 있으므로 향후 장비 사용에는 문제가 없을 것으로 판단됩니다.
측정 데이터 요약
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | 바닥 | DVIA-ULFB700 |
|---|---|---|---|---|
| 1. 바닥 2. DVIA-ULFB700 | Section 8 참조 | 수직(Z-axis) | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| 좌우(X-axis) | ✗ FAIL | ✓ PASS | ||
| 전후(Y-axis) | ✗ FAIL | ✓ PASS |
측정 데이터
Z-axis Autospectrum
Z-axis VC Curves
X-axis Autospectrum
X-axis VC Curves
Y-axis Autospectrum
Y-axis VC Curves
장비사진
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
참고:
1. VC-A 및 VC-B는 8~80Hz, VC-C~VC-G는 1~80Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료·제약 연구에서의 입자(셀) 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
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