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설치 보고서
DVIA-ULF Series
06-22-2026

Coxem Schottky Field Emission SEM DVIA-ULFB700 (260423R1-1) Installation Report

DVIA-ULF Series
Installation Report
Coxem
Schottky Field Emission SEM
FX-2000
FE-SEM
DVIA-ULFB700
260423R1-1

개요

DVIA-ULFB700 설치 후 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.

IDLE 상태로 점검 및 진동 측정 진행하였습니다.

Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.

제진대

모델: DVIA-ULFB700

시리얼 넘버: 260423R1-1

엔지니어

박동규, 박규민 · 대일시스템

튜닝 날짜

2026.06.22

설치 장소

연구소 데모실

End User

고객사: 코셈

고객사 장비

제조사: 코셈(Coxem)

장비명: Schottky Field Emission SEM

모델: FX-2000

진동 스펙

VC-E

장비 상태

IDLE

진동 측정 장비

10.1) Measurement Equipment

하드웨어: B&K Front End Type 3040-A-040

소프트웨어: B&K Pulse Labshop22 Version

10.2) Accelerometer

PCB 393B05

진동 측정 Setup

F Span: 200 Hz

Lines: 2400

Engineering Units: m/s

Window: Hanning

Averaging: FFT Spectrum Averaging

결론

X, Y, Z 축 모두 정상적으로 제진대가 작동하여 SPEC-In을 확인하였습니다.

측정 데이터 요약

측정 위치진동 스펙측정 축바닥DVIA-ULFB700
1. 바닥
2. DVIA-ULFB700
Section 8 참조수직(Z-axis)FAILPASS
좌우(X-axis)FAILPASS
전후(Y-axis)PASSPASS

측정 데이터

Z-axis VC Curves

Z-axis Autospectrum

X-axis VC Curves

X-axis Autospectrum

Y-axis VC Curves

Y-axis Autospectrum

참고자료

아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.

기준 곡선설명진폭(μm/s) (μin/s)세부 크기(μm)
Workshop (ISO)뚜렷하게 인지되는 진동. 작업장 및 비민감 영역에 적합합니다.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 영역에 적합합니다.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 인지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 영역에 적합합니다. 일반적으로 컴퓨터 장비, 병원 회복실, 반도체 프로브 테스트 장비 및 40배 미만 현미경에 적합합니다.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)인지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수술실, 100배 현미경 및 기타 저감도 장비에 적합합니다.100 (4,000)25
VC-A대부분의 경우 400배 광학 현미경, 마이크로 저울, 광학 저울, 근접 및 투영 정렬기 등에 적합합니다.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭까지의 검사 및 리소그래피 장비(스테퍼 포함)에 적합합니다.25 (1,000)3
VC-C1000배 광학 현미경, 1μm 세부 크기까지의 리소그래피 및 검사 장비(중간 감도 전자현미경 포함)에 적합한 표준입니다. TFT-LCD 스테퍼/스캐너 공정.12.5 (500)1-3
VC-D대부분의 경우 많은 전자현미경(SEM 및 TEM) 및 E-Beam 시스템을 포함한 까다로운 장비에 적합합니다.6.25 (250)0.1-0.3
VC-E달성하기 어려운 기준입니다. 나노미터 스케일에서 작동하는 장거리, 레이저 기반, 소형 타겟 시스템, E-Beam 리소그래피 시스템 및 특별한 동적 안정성이 필요한 기타 시스템을 포함한 가장 까다로운 민감 시스템에 적합한 것으로 가정합니다.3.12 (125)< 0.1
VC-F매우 조용한 연구 공간에 적합합니다. 대부분의 경우, 특히 클린룸에서 달성하기 어렵습니다. 설계 기준으로 사용하지 않고 평가용으로만 권장됩니다.1.56 (62.5)N/A
VC-G매우 조용한 연구 공간에 적합합니다. 대부분의 경우, 특히 클린룸에서 달성하기 어렵습니다. 설계 기준으로 사용하지 않고 평가용으로만 권장됩니다.0.78 (31.3)N/A

참고:

1. VC-A 및 VC-B는 8~80Hz, VC-C~VC-G는 1~80Hz 주파수에 대한 1/3 옥타브 대역에서 측정됨.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 경우 폭, 의료 및 제약 연구의 경우 입자(세포) 크기 등을 나타냅니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일06-22-2026
태그
DVIA-ULF Series
Installation Report
Coxem
Schottky Field Emission SEM
FX-2000
FE-SEM
DVIA-ULFB700
260423R1-1