Korea Institute of Science and Technology TESCAN Clara FE-SEM DVIA-ULFB700 Installation Report
Contents
개요
한국과학기술연구원 L0동 184호에 상부 장비 도어(문) 개폐 시 발생하는 소음으로 인하여 재방문하여 장비 점검을 진행하였습니다.
장비 설치 및 Turned on/IDLE 상태로 점검 및 진동 측정을 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-ULFB700
시리얼 넘버: 260227R2
엔지니어
박동규 · 대일시스템
튜닝 날짜
2026.06.18
설치 장소
한국과학기술연구원 L0동 184호
End User
한국과학기술연구원
고객사 장비
제조사: TESCAN
장비명: FE-SEM
모델: Clara
진동 스펙
| 주파수 [Hz] | 진동 스펙 [µm/s RMS] |
|---|---|
| 30 | 10 |
| 100 | 20 |
장비 상태
장비 설치 및 Turned on/IDLE
진동 측정 장비
10.1) Measurement Equipment
하드웨어: B&K Front End Type 3040-A-040
소프트웨어: B&K Pulse Labshop2 2 Version
10.2) Accelerometer
PCB 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 2400
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
결론
상부 장비 도어(문) 개폐 시 발생하는 소음의 원인을 파악한 결과, 스프링과 상판 홈이 부딪히며 발생하는 소음으로 확인되었습니다.
소음은 발생하지만 성능 및 사용상 문제는 없는 것으로 판별되었습니다.
장비에서 발생한 바람으로 상부에 더 큰 진동이 생기는 구간이 있지만 X, Y, Z 축 모두 요구 스펙을 만족하였습니다.
측정 데이터 요약
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | 바닥 | DVIA-ULFB700 |
|---|---|---|---|---|
| 1. 바닥 2. DVIA-ULFB700 | Section 8 참조 | 수직(Z-axis) | ✓ PASS | ✓ PASS |
| 좌우(X-axis) | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| 전후(Y-axis) | ✓ PASS | ✓ PASS |
측정 데이터
Z-axis Autospectrum
Z-axis VC Curves
X-axis Autospectrum
X-axis VC Curves
Y-axis Autospectrum
Y-axis VC Curves
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
참고:
1. VC-A 및 VC-B는 8~80Hz, VC-C~VC-G는 1~80Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료·제약 연구에서의 입자(셀) 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
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