Korea Institute of Science and Technology (KIST) TESCAN Clara FE-SEM DVIA-ULFB700 Installation Report — 2026.04.29
Contents
고객사
한국과학기술연구원
작성자
N/A
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
설치 날짜
2026년 4월 28일
보고서 작성일
2026년 4월 29일
개요
한국과학기술연구원 L0동 184호에 설치된 DVIA-ULFB700 튜닝 및 진동 측정 진행하였습니다.
장비 Turned on/IDLE 상태로 튜닝 및 진동 측정 진행하였습니다.
튜닝 및 진동 측정 당시 Clara 장비 하부에 설치된 냉각팬이 작동하고 있었으며, 냉각팬에서 발생한 바람이 제진대 top plate에 직접적으로 전달되는 상황이 확인되었습니다. 이러한 외부 공기 흐름은 제진대의 튜닝 및 진동 측정 결과에 영향을 미칠 수 있습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-ULFB700
시리얼 넘버: 260227R2
튜닝 날짜
2026년 4월 28일
설치 장소
한국과학기술연구원 L0동 184호
End User
한국과학기술연구원
고객사 장비
Manufacturer: TESCAN
Equipment: FE-SEM
Model: Clara
장비 스펙
< 5 um/s below 30 Hz; < 10 um/s above 30 Hz
장비상태
장비 설치 및 Turned on/IDLE
진동 측정 장비
10.1) Data Physics DAQ
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
결론
약 16 Hz 부근부터 제진대 위에 설치된 냉각팬의 영향으로 바닥진동보다 DVIA-ULFB700에서의 진동이 더 크게 측정됩니다. 이는 제진대의 문제가 아닌 장비 진동 및 냉각팬에서 발생한 바람이 측정된 것입니다.
측정 데이터 요약에서는 냉각팬의 영향을 받지 않는 대역대에서의 값을 첨부하였습니다.
냉각팬의 영향을 받지 않는 대역대에서는 모든 방향에서 VC-G의 진동이 측정되고 있습니다.
모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 진동 스펙 | 방향 | 바닥진동 | DVIA-ULFB700 | 바닥진동 | DVIA-ULFB700 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 한국과학기술연구원 L0동 184호 1. 바닥진동 2. DVIA-ULFB700 | Turned on/ IDLE | up to 30 Hz < 5 um/s above 30 Hz <10 um/s | Vertical | VC-D @ 16 Hz | VC-G @ 16 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
| Left to Right | VC-F @ 20 Hz | VC-G @ 20 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | |||
| Front to Back | VC-G @ 12.5 Hz | VC-G @ 12.5 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospecturm
Front to Back Transmissibility
장비사진
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
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