도입사례
대일시스템은 전 세계에서 가장 까다로운 나노 스케일 이미징 및 정밀 계측 현장을 위한 액티브 제진 시스템을 설계하며, 수많은 설치 리포트를 통해 그 흔들림 없는 성능을 매일 증명하고 있습니다.
시리즈
장비 유형
제조사
전체 도입사례
통지대학 Raith Voyager MAX EBL DVIA-M1000(250402R6) 설치 보고서
통지대학(중국 상하이) Raith 전자빔 리소그래피 Voyager MAX DVIA-M1000(시리얼 250402R6) 설치 보고서. 튜닝 요청 UI 캡처, UI 전달률(수직·좌우·전후) 및 장비 사진이 포함되며 측정 요약 표나 VC·Autospectrum 플롯은 없음. 진동 사양 N/A. 장비 상태: The equipment is installed/Turned off.
DGIST DVIA-MO1000(240620R1) 설치 보고서
DGIST DVIA-MO1000(시리얼 240620R1) 설치 보고서. 장비 Turned on/IDLE 상태 3축 측정 요약과 VC·Autospectrum·전달률 및 장비 사진을 포함함.
Hitachi FE-SEM SU8600 DVIA-M1000(250102R2-2) 설치 보고서
Hitachi FE-SEM SU8600 DVIA-M1000(시리얼 250102R2-2) 설치 보고서. 개요는 공개 양식과 동일. Prepared for·설치 위치·End User는 양식 공란이며 N/A로 표기. 장비 상태 The equipment is installed/Turned off. 튜닝 요청 UI 그림은 없고, 데이터 및 이미지에는 수직·좌우·전후 전달률과 장비 사진을 게시. Reference 일반 진동 기준은 별도 그림 없이 표로만 제공.
Tier-1 Semiconductor 기흥 SR1 BRUKER Photomask Repair System RAVE NM-VI DVIA-P4000 설치 보고서
Tier-1 Semiconductor 기흥 SR1 BRUKER Photomask Repair System RAVE NM-VI DVIA-P4000 설치 보고서
ELP 화질검사 설비 DVIA-ULFB350 설치 보고서
ELP 클린룸 A동에 설치된 화질검사 설비용 DVIA-ULFB350 (S/N 250617R4) 설치 보고서. 장비 설치 및 Turned off 상태에서 수직·좌우·전후 VC 곡선, Autospectrum, 전달률 측정.
Huahong Dongfang Jingyuan SEpA_i515 DVIA-P7000 설치 보고서
Huahong FAB 9 소재 Dongfang Jingyuan Electron Limited E-beam 웨이퍼 검사 시스템(SEpA_i515)용 DVIA-P7000 설치 보고서(시리얼 250131R4). 원본 DVIA-P7000_250131R4 installation report.docx; 튜닝 2025-07-25; 보고서 작성 2025-07-28. 수직·좌우·전후 VC 곡선 게시. Word 상단 머리말 그림(image1)은 공개본 제외; Reference는 사이트 VC 기준 표로 대체(image5.emf 미게시).