설치 보고서
DVIA-P Series
07-28-2025
Huahong Dongfang Jingyuan SEpA_i515 DVIA-P7000 Installation Report
DVIA-P Series
Installation Report
Huahong
Dongfang Jingyuan
SEpA_i515
E-beam Wafer inspection system
DVIA-P7000
250131R4
Contents
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-P7000
시리얼 넘버: 250131R4
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
튜닝 일자
2025년 07월 25일
설치 위치
Huahong FAB 9
장비
제조사: Dongfang Jingyuan Electron Limited
장비: E-beam Wafer inspection system
모델: SEpA_i515
장비 상태
The equipment was installed on the DVIA-P7000 platform. IDLE
튜닝 시행 차수
1st
측정 장비
8.1) Data Physics DAQ
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
8.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
측정 설정
Bandwidth: 200 Hz
Lines: 3200
Averaging: Spectrum Averaging
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Overlap: Max
진동 사양
VC-D
결론
After the installation of the DVIA-P7000, floor vibration was reduced to within the vibration specification in all axes.
측정 요약
| 측정 지점 | 상태 | 축 | 진동 사양 | 측정 데이터 | 결과 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-P7000 | 바닥 | DVIA-P7000 | ||||
| Huahong FAB 9 1. Floor 2. DVIA-P7000 | Equipment is installed and is in IDLE. | Vertical | VC-D | VC-C @ 50 Hz | VC-E @ 50 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | VC-D @ 80 Hz | VC-G @ 80 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | |||
| Front to Back | VC-C @ 4 Hz | VC-F @ 4 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | |||
데이터 및 이미지
Vertical VC Curves
Left to Right VC Curves
Front to Back VC Curves
참고자료
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일07-28-2025
태그
DVIA-P Series
Installation Report
Huahong
Dongfang Jingyuan
SEpA_i515
E-beam Wafer inspection system
DVIA-P7000
250131R4
