설치 보고서
DVIA-M Series
08-07-2025
Tongji University Raith Voyager MAX EBL DVIA-M1000 (250402R6) Installation Report
DVIA-M Series
Installation Report
Tongji University
Raith
Voyager MAX
EBL
Shanghai
DVIA-M1000
DVIA-ML1000
Contents
개요
The DVIA-M1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-M1000
시리얼 넘버: 250402R6
담당 엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
튜닝 일자
2025년 8월 7일
보고서 작성일
2025년 8월 7일
End User
Tongji University
튜닝 횟수
1st
설치 위치
Shanghai, China
장비
제조사: Raith
장비: Electron Beam Lithography
모델: Voyager MAX
진동 사양
N/A
장비 상태
The equipment is installed/Turned off
Tuning Request
데이터 및 이미지
수직 Transmissibility
좌우 Transmissibility
전후 Transmissibility
장비 사진
Reference
일반 진동 기준
참고:
1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일08-07-2025
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Tongji University
Raith
Voyager MAX
EBL
Shanghai
DVIA-M1000
DVIA-ML1000
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