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설치 보고서
DVIA-M Series
10-21-2022

Shanghai Aladdin Biochemical Regulus8100 DVIA-M1000 setup report — Shanghai (DVIA-M1000, SN 211220R1)

DVIA-M Series
Installation Report
Shanghai Aladdin Biochemical Technology
Regulus8100
Shanghai
DVIA-M1000
DVIA-ML1000
SEM

측정 대상 장비

Regulus8100

설치 장소

Shanghai

비고

Good Performance

END USER

Shanghai Aladdin Biochemical Technology Co., Ltd.

Operator

Lee, Young Ha

설치 일자

22.10.17

보고 일자

22.10.21

출장 일자

17.12.27~17.12.29

개요

DVIA-M1000 능동 제진대가 의도대로 설치되어 정상 기능 중임.

측정일: 2022.10.17 (Monday),

Operator: DAEIL SYSTEMS, Youngha Lee

측정 장소: Shanghai

Equipment Model: Regulus8100

M1000 내부 프로그램 성능 측정 결과

Z축

X축

Y축

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일10-21-2022
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Shanghai Aladdin Biochemical Technology
Regulus8100
Shanghai
DVIA-M1000
DVIA-ML1000
SEM

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