도입사례
대일시스템은 전 세계에서 가장 까다로운 나노 스케일 이미징 및 정밀 계측 현장을 위한 액티브 제진 시스템을 설계하며, 수많은 설치 리포트를 통해 그 흔들림 없는 성능을 매일 증명하고 있습니다.
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장비 유형
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전체 도입사례
Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility 화성 ZEISS AIMS32-193i DVIA-P4000 설치 보고서
Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility 화성 ZEISS AIMS32-193i DVIA-P4000 설치 보고서
DVIA-ULF1000 YIMO 화성련영 YF-1801 설치 보고서 (250813R2, 2025년 12월)
중국 우시 화성련영 제진 플랫폼 현장의 DVIA-ULF1000 (S/N 250813R2) 설치·6차 튜닝 보고서. YIDONG FE-SEM YF-1801용. 유닛을 레벨링 피트 아래로 재배치한 뒤 재튜닝하여 성능이 개선되었습니다. UI 프로그램 기준 수직·좌우·전후 VC·Autospectrum·Transmissibility 및 장비 사진을 게시했습니다. 표지 헤더 장식 그림은 제외했고, 참조 절은 표준 VC 기준 마크다운 표만 사용합니다.
YIMO Hitachi FE-SEM SU8600 DVIA-ML1000(250822R5) 설치 보고서
Hitachi FE-SEM SU8600 DVIA-ML1000(시리얼 250822R5) 설치 보고서. 개요에는 플랫폼이 적절히 설치되어 의도한 대로 작동함이 기재됨. 진동 사양 N/A, 고객·설치 위치 N/A. 측정 요약은 SU8600 가동 중 바닥과 플랫폼의 VC·도미넌트 주파수 대비. UI VC·Autospectrum·전달률(수직·좌우·전후) 및 장비 사진.
무석 이통 YF-1801 FE-SEM DVIA-ML1000 설치 보고서 (2025-12-09)
YIDONG YF-1801, DVIA-ML1000 250912R5 (1차) — 전달률 측정 위주.
DVIA-ULF1000 화성련영 방진 플랫폼 설치 보고서 — 5차 튜닝 (2025년 12월)
YIDONG FE-SEM(YF-1801) 현장 재튜닝: 영상 불안정, 펌프 공진 과제, 바닥·DVIA-ULF1000(S/N 250813R2) 수직·좌우·전후 플롯, 중국 우시.
ZEISS FE-SEM Sigma 360 DVIA-ML1000 (241108R2-1) 설치 보고서
DVIA-ML1000 설치 보고서(시리얼 241108R2-1).