Tier-1 Semiconductor Icheon ZEISS Xradia 730 Versa DVIA-ML3000 (250903R5) Installation Report
목차
개요
Tier-1 Semiconductor 이천캠퍼스 P&T1에 설치된 DVIA-ML3000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
고객사 장비 Turned off 상태로 튜닝 및 진동 측정을 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-ML3000
시리얼 넘버: 250903R5
엔지니어
대일시스템 개발팀 정성윤
튜닝 일자
2025년 12월 18일
보고서 작성일
2025년 12월 22일
설치 장소
Tier-1 Semiconductor 이천캠퍼스 P&T1
최종 사용자
Tier-1 Semiconductor
장비
Manufacturer: ZEISS
Equipment: X-ray Microscope
Model: Versa 730
장비 스펙
장비 상태
장비 설치 및 Turned Off
진동 측정 장비
10.1) Brüel & Kjær LAN-XI DAQ Type 3050 DAQ
Hardware: B&K Front End Type 3050-A-040
Software: B&K Pulse Labshop 22 Version
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
측정 설정
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Averaging: Spectrum Averaging
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Overlap: Max
결론
모든 방향에서 Spec을 만족합니다. 30Hz 부근 고주파 바닥 진동이 ISO 등급이며, 튜닝 후 VC-C 이하로 Spec-In 되는 것을 확인했습니다.
고객사 장비 X-Ray 촬영 시 정상적으로 운용되는 것을 확인했습니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 사양 | 축 | 측정값 | 결과 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 바닥진동 | DVIA-ML3000 | 바닥진동 | DVIA-ML3000 | ||||
| Tier-1 Semiconductor 이천캠퍼스 P&T1 1. 바닥진동 2. DVIA-ML3000 | 장비 설치 및 Turned Off | VC-C | 수직 | ISO @ 31.5 Hz | VC-C @ 31.5 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| 좌우 | VC-B @ 31.5 Hz | VC-C @ 31.5 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | |||
| 전후 | VC-B @ 31.5 Hz | VC-E @ 31.5 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | |||
데이터 및 이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospectrum
Front to Back Transmissibility
참고자료
일반 진동 기준
*참고:*
- 8-80 Hz (VC-A/B) 또는 1-80 Hz (VC-C ~ VC-G)에서 1/3 옥타브 밴드로 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미함.
이 케이스 스터디 공유하기
케이스 스터디 정보
관련 케이스 스터디
Tier-1 Semiconductor Hwaseong ZEISS Xradia 730 Versa DVIA-ML3000 (251107R2) Installation Report
Tier-1 Semiconductor Giheung ZEISS Xradia 520 Versa DVIA-ML3000 (260319R2) Installation Report
