Tier-1 Semiconductor Giheung ZEISS Xradia 520 Versa DVIA-ML3000 (260319R2) Installation Report
목차
개요
Tier-1 Semiconductor 기흥 사업장 S1 Line 1F 연구실에 DVIA-ML3000 설치 후 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 설치 및 Turned on 상태로 점검 및 진동 측정 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-ML3000
시리얼 넘버: 260319R2
엔지니어
박동규 · 대일시스템
튜닝 날짜
2026.07.03
보고서 작성일
2026.07.14
설치 장소
Tier-1 Semiconductor 기흥 사업장 S1 Line 1F 연구실
End User
Tier-1 Semiconductor
고객사 장비
제조사: ZEISS
장비명: X-ray Microscope
모델: Xradia 520 Versa
진동 스펙
VC-C
장비 상태
장비 설치 및 Turned on
진동 측정 장비
10.1) Measurement Equipment
하드웨어: B&K Front End Type 3040-A-040
소프트웨어: B&K Pulse Labshop22 Version
10.2) Accelerometer
PCB 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 2400
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
결론
점검 결과 X, Y, Z 축 모두 요구 스펙을 만족하였습니다.
제진대 우측 뒤편에 환풍구에서 바람이 나오기는 하였으나, 제진대에는 큰 영향이 없는 것으로 판단되었고, 향후 장비 사용에도 문제가 없다고 판단됩니다.
측정 데이터 요약
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | 바닥 | DVIA-ML3000 |
|---|---|---|---|---|
| 1. 바닥 2. DVIA-ML3000 | Section 8 참조 | 수직(Z-axis) | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| 좌우(X-axis) | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| 전후(Y-axis) | ✓ PASS | ✓ PASS |
데이터 및 이미지
Z-axis — VC Curves
Z-axis — Autospectrum
X-axis — VC Curves
X-axis — Autospectrum
Y-axis — VC Curves
Y-axis — Autospectrum
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
일반 진동 기준
*참고:*
- ¹ 8~80Hz(VC-A 및 VC-B) 또는 1~80Hz(VC-C~VC-G) 주파수에 대한 1/3 옥타브 대역에서 측정됨.
- ² 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 경우 폭, 의료 및 제약 연구의 경우 입자(세포) 크기 등을 나타냅니다.
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케이스 스터디 정보
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