Tier-1 Semiconductor Hwaseong ZEISS Xradia 730 Versa DVIA-ML3000 (251107R2) Installation Report
목차
개요
Tier-1 Semiconductor 화성캠퍼스 12/13라인 4F 연구실에 설치된 DVIA-ML3000에 대해 튜닝 및 진동 측정을 수행하였습니다.
장비 Turned on/IDLE 상태로 튜닝 및 진동 측정을 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-ML3000
시리얼 넘버: 251107R2
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
튜닝 일자
2026년 3월 30일
보고서 작성일
2026년 4월 3일
설치 장소
Tier-1 Semiconductor 화성캠퍼스 12/13라인 4F 연구실
최종 사용자
Tier-1 Semiconductor
장비
Manufacturer: ZEISS
Equipment: X-ray Microscope
Model: Xradia 730 Versa
장비 스펙
VC-C
장비 상태
장비 설치 및 Turned on/IDLE
진동 측정 장비
10.1) Data Physics DAQ
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
측정 설정
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
결론
모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 사양 | 축 | 측정값 | 결과 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 바닥진동 | DVIA-ML3000 | 바닥진동 | DVIA-ML3000 | ||||
| Tier-1 Semiconductor 화성캠퍼스 12/13라인 4F 연구실 1. 바닥진동 2. DVIA-ML3000 | Turned on/IDLE | VC-C | 수직 | Operating Theatre @ 8 Hz | VC-D @ 8 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| 좌우 | VC-C @ 4 Hz | VC-F @ 4 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | |||
| 전후 | VC-C @ 2.5 Hz | VC-F @ 2.5 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | |||
데이터 및 이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospectrum
Front to Back Transmissibility
참고자료
일반 진동 기준
*참고:*
- 8-80 Hz (VC-A/B) 또는 1-80 Hz (VC-C ~ VC-G)에서 1/3 옥타브 밴드로 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미함.
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케이스 스터디 정보
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