Tier-1 Semiconductor Cheonan C5 ZEISS Versa Xradia 630 Versa DVIA-ML3000 (250917R1) Installation Report
Contents
개요
Tier-1 Semiconductor 천안캠퍼스 C5 분석실3 YECFESEM 3호기에 설치된 DVIA-ML3000 튜닝 및 진동측정을 진행했습니다.
작업은 고객사 장비 Turned On / IDLE 상태에서 진행되었으며, 정상 운용 여부를 확인했습니다.
진동 측정은 VC 등급 기준으로 장비 스펙 만족 여부를 검증하였으나, Tier-1 Semiconductor 보안 정책에 따라 외부 데이터 반출이 제한되어 진동 측정 데이터는 보고서에서 제외되었습니다.
진동 제어 시스템
모델: DVIA-ML3000
시리얼 넘버: 250917R1
엔지니어
대일시스템 개발팀 정성윤
점검 날짜
2025년 12월 17일
보고서 작성일
2026년 1월 6일
설치 장소
Tier-1 Semiconductor 천안캠퍼스 C5 분석실3
End User
Tier-1 Semiconductor
고객사 장비
Manufacturer: ZEISS
Equipment: X-ray Microscope
Model: Versa Xradia 630 Versa
장비 스펙
장비 상태
Turned On / IDLE
진동 측정 장비
10.1) Brüel & Kjær LAN-XI DAQ Type 3050 DAQ
-Hardware: B&K Front End Type 3050-A-040
-Software: B&K Pulse Labshop 22 Version
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Averaging: Spectrum Averaging
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Overlap: Max
결론
모든 방향에서 VC 등급 기준을 만족하였으며, ZEISS 엔지니어를 통해 고객사 장비가 X-ray 촬영 시 정상적으로 운용됨을 확인했습니다.
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
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