Tier-1 Semiconductor Cheonan C5 ZEISS X-ray Microscope Versa 630 DVIA-ML3000 (250225R3) Installation Report
목차
개요
삼성전자 천안캠퍼스 C5 1층 분석실에 설치된 DVIA-ML3000의 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 Turned on/IDLE 상태로 튜닝 및 진동 측정을 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-ML3000
시리얼 넘버: 250225R3
담당 엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
튜닝 일자
2025년 06월 02일
보고서 작성일
2025년 06월 09일
End User
Tier-1 Semiconductor
설치 장소
Tier-1 Semiconductor 천안캠퍼스 C5 1층 분석실
장비 상태
장비 Turned on/IDLE
고객사 장비
Manufacturer: ZEISS
Equipment: X-ray Microscope
Model: Versa 630
진동 측정 장비
9.1) Data Physics DAQ
-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
-Software: SignalCalc ACE
9.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
장비 진동 스펙
결론
모든 방향에서 Spec을 만족합니다.
제진대 Off 시 고객사 장비 X-ray 이미지가 흐릿한 문제점이 있었습니다. 제진대 튜닝 후 고객사 장비 Turn On 시, X-ray 이미지가 정상적으로 촬영되는 것을 확인하였습니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 진동 스펙 | 바닥 | DVIA-ML3000 | 결과 | 결과 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Tier-1 Semiconductor 천안캠퍼스 C5 1층 분석실 1. Floor 2. DVIA-ML3000 | 장비 Turned on/IDLE | Vertical | VC-C | VC-C @ 12.5 Hz | VC-G @ 12.5 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
| Left to Right | VC-D @ 50 Hz | VC-G @ 50 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | |||
| Front to Back | VC-E @ 50 Hz | VC-G @ 50 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
데이터 및 이미지
수직 VC Curves
수직 Autospectrum
수직 전달률
좌우 VC Curves
좌우 Autospectrum
좌우 전달률
전후 VC Curves
전후 Autospectrum
전후 전달률
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
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