Tier-1 Semiconductor DSR ZEISS Versa 630 X-ray Microscope DVIA-ML3000 (250625R2) Installation Report
목차
개요
Tier-1 Semiconductor DSR A타워 5층 분석실에 설치된 DVIA-ML3000의 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 Turned on/IDLE 상태로 튜닝 및 진동 측정을 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-ML3000
시리얼 넘버: 250625R2
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
튜닝 일자
2025년 08월 06일
보고서 작성일
2025년 08월 18일
설치 장소
Tier-1 Semiconductor DSR A타워 5층 분석실
End User
Tier-1 Semiconductor
장비 상태
장비 Turned on/IDLE
고객사 장비
Manufacturer: ZEISS
Equipment: X-ray Microscope
Model: Versa 630
진동 측정 장비
9.1) Data Physics DAQ
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
9.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
장비 진동 스펙
결론
모든 방향에서 Spec을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 진동 스펙 | 방향 | 측정값 | 결과 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 바닥 진동 | DVIA-ML3000 | 바닥 진동 | DVIA-ML3000 | ||||
| Tier-1 Semiconductor DSR A타워 5층 분석실 1. 바닥 진동 2. DVIA-ML3000 | 장비 Turned on/IDLE | VC-C | 수직 | VC-C @ 63 Hz | VC-G @ 63 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
| 좌우 | VC-D @ 63 Hz | VC-G @ 63 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | |||
| 전후 | VC-C @ 25 Hz | VC-E @ 25 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | |||
데이터 및 이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospectrum
Front to Back Transmissibility
참고자료
일반 진동 기준
*참고:*
- 8-80 Hz (VC-A/B) 또는 1-80 Hz (VC-C ~ VC-G)에서 1/3 옥타브 밴드로 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미함.
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케이스 스터디 정보
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