Tier-1 Semiconductor Cheongju M11 ZEISS X-ray Microscope Xradia 630 Versa DVIA-ML3000 (250225R2) Installation Report
목차
개요
Tier-1 Semiconductor 청주 3캠퍼스 M11 2층 연구실에 설치된 DVIA-ML3000의 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 Turned on/IDLE 상태로 튜닝 및 진동 측정을 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-ML3000
시리얼 넘버: 250225R2
담당 엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
측정 날짜
2025년 03월 31일
보고서 작성일
2025년 04월 01일
End User
Tier-1 Semiconductor
설치 장소
Tier-1 Semiconductor 청주 3캠퍼스 M11 2층 연구실
장비 상태
장비 Turned on/IDLE
고객사 장비
Manufacturer: ZEISS
Equipment: X-ray Microscope
Model: Xradia 630 Versa
진동 측정 장비
9.1) Data Physics DAQ
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
9.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
장비 진동 스펙
결론
모든 방향에서 진동 Spec을 만족합니다.
다만, 각 방향의 고주파 성능이 다소 낮게 측정된 이유는 장비 내부 모터의 작동으로 인해 발생한 진동 영향으로 추정합니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 진동 스펙 | 바닥 | DVIA-ML3000 | 결과 | 결과 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Tier-1 Semiconductor 청주 3캠퍼스 M11 2층 연구실 1. Floor 2. DVIA-ML3000 | 장비 Turned on/IDLE | Vertical | VC-C | VC-D @ 20 Hz | VC-G @ 20 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
| Left to Right | N/A | VC-E @ 16 Hz | VC-G @ 16 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| Front to Back | N/A | VC-D @ 1 Hz | VC-F @ 1 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
데이터 및 이미지
수직 VC Curves
수직 Autospectrum
수직 전달률
좌우 VC Curves
좌우 Autospectrum
좌우 전달률
전후 VC Curves
전후 Autospectrum
전후 전달률
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
이 케이스 스터디 공유하기
케이스 스터디 정보
관련 케이스 스터디
Tier-1 Semiconductor Cheonan C5 ZEISS Versa Xradia 630 Versa DVIA-ML3000 (250917R1) Installation Report
Tier-1 Semiconductor Cheonan C5 ZEISS X-ray Microscope Versa 630 DVIA-ML3000 (250225R3) Installation Report
