Tier-1 Semiconductor Icheon Campus R3 Applied Materials PROVision 10 DVIA-P7000 Installation Report
Contents
개요
Tier-1 Semiconductor 이천 R3에 설치된 DVIA-P7000 상부 장비 내부에 설치된 IDE 제진대의 ATR(Self Test)시 몇몇 항목에서 Fail이 발생하여, 사내 테스트 후 방문 점검 진행하였습니다.
DVIA-P7000 튜닝 및 진동 측정 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-P7000
시리얼 넘버: 240502R3
엔지니어
대일시스템 개발팀 정성윤
점검 날짜
2025년 12월 23일
설치 장소
Tier-1 Semiconductor 이천캠퍼스 R3
최종 사용자
Tier-1 Semiconductor 이천 M10B R3 Line
고객사 장비
Manufacturer: Applied Materials
Equipment: 3E eBeam Metrology
Model: PROVision 10
장비 스펙
장비 상태
장비 제진대 위에 안착 및 Turned on/IDLE
진동 측정 장비
10.1) Brüel & Kjær LAN-XI DAQ Type 3050 DAQ
Hardware: B&K Front End Type 3050-A-040
Software: B&K Pulse Labshop 22 Version
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Averaging: Spectrum Averaging
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Overlap: Max
결론
DVIA-P7000 Active On 시, 모든 방향에서 Spec을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 진동 스펙 | 방향 | Floor | DVIA-P7000 | Floor | DVIA-P7000 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Tier-1 Semiconductor 이천 R3 1. Floor 2. DVIA-P7000 | VC-D | Vertical | VC-D @ 63 Hz | VC-E @ 14 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
| Tier-1 Semiconductor 이천 R3 1. Floor 2. DVIA-P7000 | VC-D | Left to Right | VC-C @ 14 Hz | VC-D @ 14 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Tier-1 Semiconductor 이천 R3 1. Floor 2. DVIA-P7000 | VC-D | Front to Back | VC-D @ 40 Hz | VC-E @ 14 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospecturm
Front to Back Transmissibility
참고자료
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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