Tier-1 Semiconductor Icheon Applied Materials PROVision 10 DVIA-P7000 Installation Report
Contents
개요
Tier-1 Semiconductor 이천 R4 36 bay RMHT3601호기에 설치된 DVIA-P7000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 Turned off 상태에서 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-P7000
시리얼 넘버: 251027R8
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원, 개발팀 정성윤
점검 날짜
2026년 01월 22일
설치 장소
Tier-1 Semiconductor 이천 R4 36 bay (RMHT3601)
End User
Tier-1 Semiconductor
고객사 장비
Manufacturer: Applied Materials
Equipment: 3E eBeam Metrology
Model: PROVision 10
장비 스펙
장비 상태
장비 제진대 위에 안착 및 Turned off
진동 측정 장비
10.1) Brüel & Kjær LAN-XI DAQ Type 3040 DAQ
Hardware: B&K Front End Type 3040-A-040
Software: B&K Pulse Labshop 22 Version
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Averaging: Spectrum Averaging
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Overlap: Max
결론
장비 설치 완료 후 제진대의 기계적 설치 상태를 점검하였으며, CDA 및 전원선 연결을 통해 제진대 구동에 필요한 기본 유틸리티 구성을 수행하였습니다.
센서 및 액추에이터 신호 상태를 확인한 후, 현장 환경에 맞는 초기 제어 파라미터 세팅 및 최초 튜닝을 수행하였습니다.
DVIA-P7000 Active On 조건에서 모든 방향에 대해 장비 요구 진동 Spec을 만족하고 있음을 최종 확인하였습니다.
측정 데이터
| 측정 지점 | 장비 상태 | 방향 | 진동 스펙 | 측정값 (바닥진동) | 측정값 (DVIA-P7000) | 결과 (바닥진동) | 결과 (DVIA-P7000) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Tier-1 Semiconductor M16 10층 C2 bay(6MHTC201) 1. 바닥진동 2. DVIA-P7000 | 장비 제진대 위에 안착 및 Turned off | Vertical | VC-D | VC-B @ 100 Hz | VC-E @ 100 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | VC-C @ 50 Hz | VC-G @ 50 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | |||
| Front to Back | VC-E @ 63 Hz | VC-G @ 63 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
데이터 및 이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospectrum
Front to Back Transmissibility
참조
참고:
- VC-A/B는 8–80 Hz, VC-C~VC-G는 1–80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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