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설치 보고서
DVIA-P Series
01-13-2026

Tier-1 Semiconductor Icheon R3 Applied Materials PROVision 10 DVIA-P7000 Installation Report

DVIA-P Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
Applied Materials
PROVision 10

Contents

개요

Tier-1 Semiconductor 이천 R3에 설치된 DVIA-P7000 상부 장비에 진동 관련 알람이 발생하여 점검 진행하였습니다.

DVIA-P7000 튜닝 및 진동 측정 진행하였습니다.

Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-P7000

시리얼 넘버: 240502R3

엔지니어

대일시스템 필드엔지니어 이채원

점검 날짜

2026년 01월 13일

설치 장소

Tier-1 Semiconductor 이천캠퍼스 R3

최종 사용자

Tier-1 Semiconductor 이천 M10B R3 Line

고객사 장비

Manufacturer: Applied Materials

Equipment: 3E eBeam Metrology

Model: PROVision 10

장비 스펙

장비 상태

장비 제진대 위에 안착 및 Turned on/IDLE

진동 측정 장비

Data Physics DAQ

Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436

Software: SignalCalc ACE

Accelerometer

PCB Accelerometer

Model: 393B05

진동 측정 Setup

F Span: 200 Hz

Lines: 3200

Averaging: Spectrum Averaging

Engineering Units: m/s

Window: Hanning

Overlap: Max

결론

점검 결과, 제진대 제어 파라미터 중 Gain 설정이 과도하게 적용되어 제어 안정성 및 제진 성능 저하가 발생하고 있음을 확인하였습니다. 이에 Gain Margin 및 Phase Margin을 고려하여 Gain Parameter를 재조정하였으며, 재튜닝 이후 제진대는 정상적인 제어 상태에서 안정적으로 동작함을 확인하였습니다.

재튜닝 이후 AMAT 장비 가동 조건에서도 진동 관련 알람이 발생하지 않음을 확인하였습니다.

DVIA-P7000 Active On 조건에서 모든 방향에 대해 장비 요구 진동 Spec을 만족하고 있음을 최종 확인하였습니다.

측정 데이터

측정 장소상태방향진동 스펙측정값결과
바닥진동DVIA-P7000바닥진동DVIA-P7000
Tier-1 Semiconductor 이천 R3
1. 바닥진동
2. DVIA-P7000		N/AVerticalVC-DVC-C @ 8 HzVC-E @ 8 Hz✗ FAIL✓ PASS
Left to RightVC-DVC-C @ 12.5 HzVC-D @ 12.5 Hz✗ FAIL✓ PASS
Front to BackVC-DVC-D @ 63 HzVC-F @ 63 Hz✓ PASS✓ PASS

데이터 및 이미지

Vertical VC Curves

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Transmissibility

참고자료

Generic Vibration Criteria

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		Detail Size
μm
Workshop (ISO)Distinctly perceptible vibration. Appropriate to workshops and non-sensitive areas.800 (32,000)N/A
Office (ISO)Perceptible vibration. Appropriate to offices and non-sensitive areas.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)Barely perceptible vibration. Appropriate to sleep areas in most instances.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)Vibration not perceptible. Suitable for surgical suites, microscopes to 100x.100 (4,000)25
VC-AAdequate for optical microscopes to 400x, microbalances, optical balances.50 (2,000)8
VC-BAppropriate for inspection and lithography equipment to 3μm line widths.25 (1,000)3
VC-CAppropriate for optical microscopes to 1000x, lithography equipment to 1μm.12.5 (500)1 - 3
VC-DSuitable for demanding equipment including electron microscopes (SEMs/TEMs).6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-EFor the most demanding systems including E-Beam lithography at nanometer scales.3.12 (125)< 0.1
VC-FFor extremely quiet research spaces. Not recommended as design criterion.1.56 (62.5)N/A
VC-GFor extremely quiet research spaces. Not recommended as design criterion.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8–80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서 측정되며, VC-C부터 VC-G는 1–80 Hz에서 측정됩니다.

2. Detail size는 전자 제조의 선 폭 또는 의학 연구의 입자 크기를 나타냅니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일01-13-2026
태그
DVIA-P Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
Applied Materials
PROVision 10

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