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설치 보고서
DVIA-ULF Series
12-22-2025

J&L Tech DVIA-ULF1500 Installation Report — 250904R1

DVIA-ULF Series
Installation Report
DVIA-ULF1500
250904R1
J&L Tech
Ansan

고객사

J&L Tech

작성자

엔지니어: 박동규

측정 날짜 (표지)

25.12.18

보고서 작성일

25.12.22

개요

J&L Tech 안산지사 개발실에 설치된 ULF -1500의 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다

제진대 위에 에스피시스템즈의 자비스E 장비로 모니터링 시 진동이 발생하여 패시브와 게인값 조정을 진행하였습니다.

장비 설치 및 Turned on/IDLE 상태로 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.

Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.

제진대

모델: ULF-1500

시리얼 넘버: 250904R1

엔지니어

대일시스템 개발팀 박동규

측정 날짜

2025년 12월 18일

설치 장소

J&L Tech 안산지사 개발실

End User

J&L Tech

고객사 장비

Manufacturer: 에스피시스템즈

Equipment: 자비스E

Model: -

장비 스펙

-

장비상태

장비 설치 및 Turned on/IDLE

진동 측정 장비

10.1) Brüel & Kjær LAN-XI DAQ Type 3050 DAQ

-Hardware: B&K Front End Type 3050-B-040

-Software: B&K Pulse Labshop 14 Version

10.2) Accelerometer

BRUEL&KJAER Accelerometer

Model: Type 8340

진동 측정 Setup

F Span: 200

Lines: 3200

Engineering Units: m/s

Window: Hanning

Averaging: FFT Spectrum Averaging

Average Mode: Exponential, 40

결론

모든 방향에서 바닥 진동 대비 ULF-1500의 상판에서 진동이 감쇠 되는 걸 확인하였습니다.

기존의 장비 화면 상 울렁거리던 문제는 게인 값 조정과 패시브 조정을 통해 해결하여 고객사와 함께 확인하였습니다.

측정 데이터

13.1) 측정데이터 1

측정 장소상태방향바닥진동ULF-1500
J&L Tech 안산지사 개발실
1. 바닥진동
2. DVIA-ULF1500
Turned on/IDLEVerticalVC-A @ 63 HzVC-E @ 90 Hz
Left to RightVC-C @ 4 HzVC-D @ 1 Hz
Front to BackVC-B @ 63 HzVC-D @ 6 Hz

데이터&이미지

14.1) 측정 데이터1

Vertical VC Curves (Red: 바닥 진동, Blue: DVIA-T78)

Vertical Autospectrum (Red: 바닥 진동, Blue: DVIA-T78)

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves (Red: 바닥 진동, Blue: DVIA-T78)

Left to Right Autospectrum (Red: 바닥 진동, Blue: DVIA-T78)

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves (Red: 바닥 진동, Blue: DVIA-T78)

Front to Back Autospecturm (Red: 바닥 진동, Blue: DVIA-T78)

Front to Back Transmissibility

참고자료

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일12-22-2025
태그
DVIA-ULF Series
Installation Report
DVIA-ULF1500
250904R1
J&L Tech
Ansan