도입사례

YIMOTECH ZEISS Sigma 360 FE-SEM DVIA-ML1000 설치 보고서 — 중국 광저우(Guangzhou)의 최종 사용자 레조낙 일렉트로닉 머티리얼즈(Resonac Electronic Materials) 현장에 DVIA-ML1000 액티브 제진 플랫폼을 설치한 뒤, 장비를 Turned off 상태로 두고 2차 재튜닝과 진동 측정을 진행했습니다. Sigma 360의 수평·수직 허용 진동 사양(1~100 Hz, mm/s² RMS) 기준으로 바닥은 수직·전후 축에서 허용치를 넘어 FAIL이었으나, DVIA-ML1000 플랫폼 위에서는 세 축 모두 PASS 판정을 받았습니다. 튜닝 요청서(调试请求书), 허용 진동 사양 표, 축별 Autospectrum 측정 그래프를 게시하며, 현장 정책상 설치 사진 촬영은 허용되지 않았습니다.

YIMO TECH Hitachi High-Tech SU7000 SEM DVIA-ML1000 설치 보고서 — 중국 푸저우(Fuzhou) 푸젠이공대학(Fujian University of Technology)에 DVIA-ML1000 액티브 제진 플랫폼을 설치한 뒤, 장비를 IDLE 상태로 두고 튜닝과 진동 측정을 진행했습니다. SU7000의 수평·수직 허용 진동 사양(1~10 Hz, µm pk-pk) 기준으로 바닥과 DVIA-ML1000 플랫폼 모두 수직·좌우·전후 세 축에서 PASS 판정을 받았습니다. 튜닝 요청서(调试请求书), 허용 진동 사양 표, 축별 Autospectrum 측정 그래프, 설치 현장 사진을 함께 게시합니다.

한국전자통신연구원 2동 L02호에 설치된 Attocube AttoDRY 2100 저온챔버용 DVIA-ULFB700 제진대(S/N 260707R4) 설치 보고서입니다. 장비를 IDLE 상태로 두고 수평·수직 모두 3.125 µm/s RMS(VC-E) 기준으로 튜닝과 진동 측정을 진행하였습니다. 바닥에서는 3축 모두 기준을 초과했으나 제진대 상부(DVIA-ULFB700)에서는 3축 모두 기준을 만족하였으며, 1차 튜닝 결과 수직축은 VC-F, 수평축은 VC-E 수준을 확보하였습니다. 수직(Z축)·좌우(X축)·전후(Y축) VC Curves를 게시합니다.

중국 상하이에 있는 Jiechuang Trading(End User) 현장의 ZEISS Sigma 360 FE-SEM에 적용한 DVIA-ULF700(시리얼 260511R3) 설치 보고서입니다. 2026.08.20 튜닝을 마친 뒤 장비를 Idle 상태로 두고 설치 바닥과 DVIA-ULF700 상판 두 지점에서 진동을 측정했습니다. 바닥에서는 수직축이 기준을 넘어섰고 좌우·전후 수평축은 기준을 만족했으나, DVIA-ULF700 상판에서는 세 축 모두 ZEISS가 요구하는 진동 스펙을 충족해 바닥의 수직축 초과분이 제진대에서 완전히 감쇠되는 것을 확인했습니다. 튜닝 요청 작업지시서(调试请求书), UI 프로그램으로 취득한 축별 Autospectrum 그래프, 설치 현장 사진 2장을 함께 게시합니다.

중국 쑤저우(Suzhou)에 있는 Suzhou National Laboratory(쑤저우 국가실험실, End User)의 Thermo Fisher Scientific Quattro ESEM에 적용한 DVIA-ML1000(시리얼 260610R5) 설치 보고서입니다. 납품은 YIMOTECH를 통해 이루어졌으며, 2026.08.19 튜닝을 마친 뒤 장비를 Turned off 상태로 두고 설치 바닥과 DVIA-ML1000 상판 두 지점에서 진동을 측정했습니다. 기준은 수평축 VC-G, 수직축 VC-F입니다. 게시한 VC Curve 그래프를 보면 바닥(base) 곡선은 세 축 모두 SPEC 선을 넘어서지만, DVIA-ML1000 상판(top) 곡선은 1~100Hz 전 대역에서 SPEC 선 아래에 머무릅니다. 즉 실험실의 기존 바닥 진동만으로는 장비 요구 조건을 만족하지 못하지만, DVIA-ML1000이 이를 목표 VC 등급까지 낮춰 준다는 것을 확인할 수 있습니다. 튜닝 요청 작업지시서(调试请求书), UI 프로그램으로 취득한 축별 VC Curve 그래프, 그리고 DVIA-ML1000 위에 설치된 Quattro ESEM의 현장 사진을 함께 게시합니다.

미국 텍사스 소재 Tier-1 Semiconductor 사업장 FAB 3층의 Advantest E5620 하부에 설치된 DVIA-P4000(시리얼 260401R3-1) 설치 보고서입니다. 작업 완료일은 2026년 8월 14일입니다. 리깅 및 위치 조정, 리프팅, 액세스 플로어와 동일 높이로의 설치, 0.5mm 이내 수평 조정, 바닥과 제진대 간 내진 고정 장치 체결까지 진행한 뒤 진동 성능을 검증했습니다. 장비 제조사가 규정한 진동 스펙은 전 방향 VC-C(1~80Hz 구간 12.5 µm/s 미만)입니다. 교정된 지진계형 가속도 센서로 160Hz 대역에서 3개 방향을 측정했으며, DVIA-P4000은 전후·좌우·수직 3축 모두 VC-C 기준을 만족(PASS)했습니다. 허용 진동 사양과 3축 VC Curves를 게시합니다.