도입사례
대일시스템은 전 세계에서 가장 까다로운 나노 스케일 이미징 및 정밀 계측 현장을 위한 액티브 제진 시스템을 설계하며, 수많은 설치 리포트를 통해 그 흔들림 없는 성능을 매일 증명하고 있습니다.
시리즈
장비 유형
제조사
전체 도입사례
ASML eScan 460 DVIA-P4000 운영 보고서
ASML E-beam 웨이퍼 검사 시스템 eScan 460(중국 Wuxi) DVIA-P4000(시리얼 240424R1) 운영 보고서. 장비 미설치 상태; 진동 사양 전 축 VC-D. 보고서 작성 24.09.03, 엔지니어 이채원. 상판·바닥 가속도계 센서 데이터를 게시하여 설치 후 정상 동작을 확인합니다.
경북대학교 JEOL JBX-8100FS DVIA-P2200 설치 보고서
경북대학교 반도체융합연구동 B1에 설치된 DVIA-P2200(시리얼 240501R1) 및 JEOL JBX-8100FS 전자빔 리소그래피 설치 보고서. 2024년 9월 3일 튜닝·진동측정, 대일시스템 이채원. 장비 진동 스펙 도면과 축별 VC·Narrowband·Transmissibility 그래프를 게시합니다. 참고자료는 마크다운 표만 제공합니다.
TESCAN Solaris X FIB-SEM DVIA-ML1000 설치 보고서
TESCAN Solaris X FIB-SEM DVIA-ML1000 설치
N/A ZEISS SEM EVO 10 DVIA-M1000(240704R3-1) 설치 보고서
ZEISS SEM EVO 10 DVIA-M1000(시리얼 240704R3-1) 설치 보고서. 개요는 공개 양식과 동일. 장비 상태 The equipment is installed. 게시 그림은 본문 목록과 같음. Reference 일반 진동 기준은 별도 그림 없이 표로 제공.
DVIA-STONE-300(240513R3) Thermo Fisher Spectra 300 S/TEM — Southern University of Science and Technology (내부 프로그램, 2024.08.13)
DVIA-STONE-300 시리얼 240513R3, 제목 (STONE-300_ 240513R3 Set up) 양식(셋업 24.08.13·보고 24.08.16). Southern University of Science and Technology(선전), Thermo Fisher Spectra 300 S/TEM. 개요·표 항목·측정 메타는 원문 그대로 반영했으며, STONE-300 내부 프로그램 절 아래 Vertical·Left to Right·Front to Back 스크린샷만 게시합니다. 원문에 진동 사양 단독 절·측정 요약 표·Reference 절은 없습니다.