설치 보고서

DVIA-M Series

09-04-2024

JEOL JEM-F200 TEM DVIA-MB3000 Installation Report

DVIA-M Series

Installation Report

JEOL

개요

DVIA-MB3000 액티브 진동 제어 플랫폼이 적절하게 설치되어 의도한 대로 작동하고 있습니다.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-MB3000

시리얼 넘버: 230918R3

담당 엔지니어

대일시스템 고객 요청에 따라 현장 맞춤 튜닝을 진행했습니다.

튜닝 일자

2024년 3월 25일

튜닝 횟수

2차 튜닝

설치 장소

중국 베이징

장비

JEOL JEM-F200 TEM

장비 상태

현미경이 액티브 진동 제어 시스템 위에 설치되었습니다.

데이터 및 이미지

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

장비 사진

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리

설치 보고서

시리즈DVIA-M Series

작성일09-04-2024

태그

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Installation Report

JEOL

JEOL JEM-F200 TEM DVIA-MB3000 Installation Report

개요

진동 제어 시스템 정보

담당 엔지니어

튜닝 일자

튜닝 횟수

설치 장소

장비

장비 상태

데이터 및 이미지

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

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Reference

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