도입사례
대일시스템은 전 세계에서 가장 까다로운 나노 스케일 이미징 및 정밀 계측 현장을 위한 액티브 제진 시스템을 설계하며, 수많은 설치 리포트를 통해 그 흔들림 없는 성능을 매일 증명하고 있습니다.
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전체 도입사례
Suzhou Tongguan Microelectronics ZEISS SEM Sigma360 DVIA-M1000(231204R4) 내부 프로그램 성능 측정 — 2024.09.05
DVIA-M1000 시리얼 231204R4 — Suzhou Tongguan Microelectronics 대상 장비 ZEISS SEM Sigma360, 설치지 Suzhou 양식. 개요·측정 정보는 공개 양식과 동일하며, M1000 내부 프로그램 성능 결과는 Vertical·Left to Right·Front to Back 라벨의 UI 플롯을 게시함. 표지·헤더용 장식 그래픽은 게시 제외.
YIMO ASML eScan 460 DVIA-P4000 운영 보고서
YIMO Technology 경로 ASML E-beam 웨이퍼 검사 시스템 eScan 460(중국 Wuxi) DVIA-P4000(시리얼 240424R1) 운영 보고서. 장비 미설치 상태; 진동 사양 전 축 VC-D. 보고서 작성 24.09.03, 엔지니어 이채원. 상판·바닥 가속도계 센서 데이터를 게시하여 설치 후 정상 동작을 확인합니다.
경북대학교 JEOL JBX-8100FS DVIA-P2200 설치 보고서
경북대학교 반도체융합연구동 B1에 설치된 DVIA-P2200(시리얼 240501R1) 및 JEOL JBX-8100FS 전자빔 리소그래피 설치 보고서. 2024년 9월 3일 튜닝·진동측정, 대일시스템 이채원. 장비 진동 스펙 도면과 축별 VC·Narrowband·Transmissibility 그래프를 게시합니다. 참고자료는 마크다운 표만 제공합니다.
TESCAN Solaris X FIB-SEM DVIA-ML1000 설치 보고서
TESCAN Solaris X FIB-SEM DVIA-ML1000 설치
YIMO N/A ZEISS SEM EVO 10 DVIA-M1000(240704R3-1) 설치 보고서
YIMO 경로 ZEISS SEM EVO 10 DVIA-M1000(시리얼 240704R3-1) 설치 보고서. 개요는 공개 양식과 동일. 장비 상태 The equipment is installed. 게시 그림은 본문 목록과 같음. Reference 일반 진동 기준은 별도 그림 없이 표로 제공.