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설치 보고서
DVIA-P Series
09-30-2024

Youngwoo DSP Cheonan DVIA-P2200 (230927R5) Installation Report

DVIA-P Series
Installation Report
Youngwoo DSP
Cheonan
DVIA-P2200
230927R5

개요

영우DSP(천안)에서 제진대 상부 장비가 Turn on 상태인 조건에서 진동 측정을 수행했습니다.

진동 측정 결과를 VC-Curve에 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.

엔지니어

대일시스템 정성윤 사원

측정 날짜

2024년 9월 30일

측정 장소

영우DSP 천안 본사 공장

진동 측정 장비

5.1) Brüel & Kjær LAN-XI DAQ Type 3050

Hardware: B&K Front End Type 3050-A-040

Software: B&K Pulse Labshop 22 Version

5.2) Accelerometer

PCB Accelerometer

Model: 393B05

진동 측정 Setup

F Span: 200

Lines: 800

Window: Hanning

Averaging: FFT Spectrum Averaging

Engineering Units: m/s2

장비 진동 스펙

미정

결론

고객사 장비 Turn On 시, 최대 VC-C의 Floor 진동이 측정됩니다.

제진대 Active On 시, 세 방향에서 모두 VC-G 이하의 제진대 상판 진동이 측정됩니다.

제진대 상부 장비는 고객사 자체 제작 장비로서 진동 스펙이 아직 정해지지 않았습니다.

측정 결과 요약

측정 위치측정 방향진동 Spec.측정값
DVIA-P2200Vertical (Z)미정VC-G
Left to right (X)VC-G
Front to back (Y)VC-G
FloorVertical (Z)VC-E
Left to right (X)VC-C
Front to back (Y)VC-D

데이터&이미지

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Vertical VC Curves

Left to Right Autospectrum and Transmissibility

Left to Right VC Curves

Front to Back Autospectrum and Transmissibility

Front to Back VC Curves

참고 자료

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 수면 공간에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배 광학 현미경, 미세저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 라인폭 검사·리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-DSEM/TEM 등 고성능 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노급 E-Beam 리소그래피 등 최고 수준 시스템.3.12 (125)< 0.1
VC-F극저소음 연구 공간. 설계 기준으로 권장하지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극저소음 연구 공간. 설계 기준으로 권장하지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8–80 Hz 1/3 옥타브 밴드, VC-C~VC-G는 1–80 Hz에서 측정합니다.

2. 세부 크기는 마이크로전자 제조의 라인폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일09-30-2024
태그
DVIA-P Series
Installation Report
Youngwoo DSP
Cheonan
DVIA-P2200
230927R5