설치 보고서
DVIA-M Series
03-30-2016
Tier-1 Semiconductor DVIA-MB3000 P5 vibration survey — Hwaseong NRD Building (2016.03.30)
DVIA-M Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
DVIA-MB3000
MB3000 P5
VC class
Contents
개요
제진대 설치 후 진동환경을 측정하여 장비 사용에 문제가 없는지 확인함.
측정일
2016. 03. 30(수)
측정자
대일시스템 임종욱 주임
측정장소
Tier-1 Semiconductor 화성사업장 NRD동 6층
측정 조건 및 결과
측정 조건: MB3000의 상판과 연구동 바닥을 측정하여 VC-CLASS로 표시함.
측정결과 요약
| 시험 조건 | Z | X | Y |
|---|---|---|---|
| 바닥 | A | B | A |
| 제진대 상부 | D | E | F |
수직축의 경우 50Hz의 경우 D class , 나머지 주파수 대역에서 E Class로 상태가 양호함.
수평축의 경우 X축은 E Class, Y축은 F Class로 상태가 양호함.
장비의 허용진동 기준치는 다음 장에 나타낸 바와 같이 대략 D클래스에 가까우며, 모든 방향에서 제진대 상부의 진동레벨이 D Class 이하로 양호하므로 장비 기준치를 만족함.
장비 허용진동 기준치 그래프
수직방향 진동기준
수평방향 진동기준
진동환경 VC-CLASS 그래프
수직축(Z) 진동레벨
수평축(X) 진동레벨
수평축(Y) 진동레벨
Reference
일반 진동 기준
참고:
1. VC-A/B는 8-80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서, VC-C부터 VC-G는 1-80 Hz에서 측정됩니다.
2. 상세 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일03-30-2016
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
DVIA-MB3000
MB3000 P5
VC class
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