Tier-1 Semiconductor ZEISS Versa 620 X-ray Microscope DVIA-MB3000 (170515R4) Installation Report — 2025.07.08
Contents
개요
Tier-1 Semiconductor 천안캠퍼스 C5 1층 분석실에 설치된 DVIA-MB3000의 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 Turned on/IDLE 상태로 튜닝 및 진동 측정을 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-MB3000
시리얼 넘버: 170515R4
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 서종화
측정 날짜
2025년 07월 08일
보고서 작성일
2025.07.10
End User
Tier-1 Semiconductor
설치 장소
Tier-1 Semiconductor 천안캠퍼스 C5 1층 분석실
장비 상태
장비 Turned on/IDLE
고객사 장비
Manufacturer: ZEISS
Equipment: X-ray Microscope
Model: Versa 620
진동 측정 장비
9.1) Data Physics DAQ
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
9.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
장비 진동 스펙
결론
모든 방향에서 Spec을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 진동 스펙 | 방향 | Floor (측정값) | DVIA-MB3000 (측정값) | Floor (결과) | DVIA-MB3000 (결과) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Tier-1 Semiconductor 천안캠퍼스C5 1층 분석실1. Floor 2. DVIA-MB3000 | 장비 Turned on/IDLE | VC-C | Vertical | VC-B@ 10 Hz | VC-F@ 10 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | VC-E@ 16 Hz | VC-G@ 16 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | |||
| Front to Back | VC-D@ 16 Hz | VC-G@ 16 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
데이터 및 이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospecturm
Front to Back Transmissibility
Reference
일반 진동 기준
참고:
1. VC-A/B는 8-80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서, VC-C부터 VC-G는 1-80 Hz에서 측정됩니다.
2. 상세 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
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