Tier-1 Semiconductor ZEISS Versa 630 3D X-ray Microscope DVIA-MB3000 (241011R1) Installation Report — 2024.11.27
Contents
개요
삼성디스플레이 기흥캠퍼스에 설치된 DVIA-MB3000 튜닝 및 진동측정 진행했습니다.
DVIA-MB3000을 노트북과 연결하여 UI software를 통해 피드백과 피드포워드 튜닝 및 Data Physics DAQ 측정장비를 이용하여 진동측정으로 성능점검 진행했습니다.
데이터 반출의 어려움으로 본 보고서는 데이터와 이미지 없이 작성되었습니다. (김도형 프로와 협의)
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-MB3000
시리얼 넘버: 241011R1
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
측정 날짜
2024년 11월 27일
보고서 작성일
2024.11.29
측정 장소
삼성디스플레이 기흥 SDR 1층 연구05 분석실
장비 상태
장비 설치 및 IDLE
고객사 장비
Manufacturer: ZEISS
Equipment: 3D X-ray Microscope
Model: Versa 630
진동 측정 장비
8.1) Data Physics DAQ
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
8.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
Bandwidth: 200 Hz
Lines: 3200
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40 Frames
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
장비 진동 스펙
결론
Vertical: 바닥에서 25 Hz에서 VC-E의 진동이 측정됩니다. DVIA-MB3000에서는 모든 대역대에서 VC-G의 진동이 측정됩니다.
Left to Right: 바닥에서 63 Hz에서 VC-E의 진동이 측정됩니다. DVIA-MB3000에서는 모든 대역대에서 VC-G의 진동이 측정됩니다.
Front to Back: 바닥에서 31.5 Hz에서 VC-E의 진동이 측정됩니다. DVIA-MB3000에서는 모든 대역대에서 VC-G의 진동이 측정됩니다.
모든 방향에서 장비의 진동 스펙을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | Floor | DVIA-MB3000 |
|---|---|---|---|---|
| 삼성디스플레이 SDR 1층 연구 05 분석실 1. Floor 2. DVIA-MB3000 | 장비 설치 및 IDLE | Vertical | VC-E @ 25 Hz | VC-G @ 25 Hz |
| Left to Right | VC-E @ 63 Hz | VC-G @ 40 Hz | ||
| Front to Back | VC-E @ 31.5 Hz | VC-G @ 10 Hz |
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8–80 Hz, VC-C~G는 1–80 Hz 1/3 옥타브 대역에서 측정한 값이다.
- Detail size는 반도체 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기 등을 가리킨다.
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케이스 스터디 정보
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