Tier-1 Semiconductor ZEISS Xradia Context microCT DVIA-MB3000 (240304R3) Installation Report — 2024.04.02
Contents
개요
Broadcom에 DVIA-MB3000 설치 튜닝 및 진동측정을 진행했습니다.
장비 Idle 상태로 진동 측정 진행했습니다.
DVIA-MB3000을 노트북과 연결하여 UI Program을 통한 튜닝, Data Physics 장비를 이용한 진동측정으로 점검 진행했습니다.
Air conditioner Turn On/Turn Off 상태를 비교하여 측정하였습니다.
제진대
모델: DVIA-MB3000
시리얼 넘버: 240304R3
엔지니어
대일시스템 이채원
설치 날짜
2024년 04월 02일
설치 장소
하이브랜드 7F Broadcom
고객사 장비
ZEISS Xradia Context microCT
장비 진동 스펙
VC-C
장비 상태
Equipment is installed/ Idle
튜닝 횟수
1회차
진동 측정 장비
9.1) Data Physics
-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
-Software: SignalCalc ACE
9.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200
Lines: 3200
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Engineering Units: m/s
결론
Air conditioner On/Off 상태 모두 50 Hz에서 DVIA-MB3000 진동이 높게 나타납니다. 이는 장비 Idle 상태의 진동으로 파악됩니다.
Air conditioner On 상태에서 80Hz에서 공진봉이 생깁니다. 이는 Air conditioner 바람에 의한 영향으로 파악됩니다.
Air conditioner 작동 시 Spec은 만족하지만 전체적으로 진동이 상승합니다. 더 나은 성능을 위해서 에어컨 바람막이를 설치하여 사용하는 것을 권장 드립니다.
측정 데이터
| 측정 지점 | 상태 | 방향 | 사양 | 측정값(바닥) | 측정값(DVIA-MB3000) | 결과(바닥) | 결과(DVIA-MB3000) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Tier-1 Semiconductor | Air conditioner On | Vertical | 1.25E-05 | 1.40E-05 @ 8 Hz | 6.77E-07 @ 8 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| 1.25E-05 | 2.33E-05 @ 63 Hz | 2.63E-06 @ 63 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | |||
| Tier-1 Semiconductor | Air conditioner On | Left - Right | 1.25E-05 | 1.12E-05 @ 2 Hz | 1.78E-06 @ 2 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
| 1.25E-05 | 7.78E-07 @ 50 Hz | 1.63E -05 @ 50 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | |||
| Tier-1 Semiconductor | Air conditioner On | Front - Back | 1.25E-05 | 1.25E-05 @ 2 Hz | 2.24E -06 @ 2 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Tier-1 Semiconductor | Air conditioner Off | Vertical | 1.25E-05 | 1.39E-05 @ 4 Hz | 2.66E-06 @ 4 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| 1.25E-05 | 1.36E-05 @ 8Hz | 1.77E-06 @ 8 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | |||
| 1.25E-05 | 2.39E-05 @ 63 Hz | 4.07E-07 @ 63 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | |||
| Tier-1 Semiconductor | Air conditioner Off | Left - Right | 1.25E-05 | 7.14E-06 @ 2 Hz | 1.36E-06 @ 2 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
| 1.25E-05 | 7.34E-07 @ 50 Hz | 2.06E-06 @ 50 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | |||
| 1.25E-05 | 3.70E-07 @ 80 Hz | 7.93E-07 @ 80 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | |||
| Tier-1 Semiconductor | Air conditioner Off | Front - Back | 1.25E-05 | 1.56E-05 @ 2 Hz | 1.75E-06 @ 2 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| 1.25E-05 | 6.08E-07 @ 80 Hz | 1.52E-06 @ 80 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
데이터&이미지
14.1) Air Conditioner Off
Vertical VC Curves (air conditioner off)
Vertical Transmissibility (air conditioner off, report spelling)
Left to Right VC Curves (air conditioner off)
Left to Right Transmissibility (air conditioner off)
Front to Back VC Curves (air conditioner off)
Front to Back Transmissibility (air conditioner off)
Air conditioner On
Vertical VC Curves (air conditioner on)
Vertical Transmissibility (air conditioner on)
Left to Right VC Curves (air conditioner on)
Left to Right Transmissibility (air conditioner on)
Front to Back VC Curves (air conditioner on)
Front to Back Transmissibility (air conditioner on)
Reference
Generic Vibration Criteria
참고:
- VC-A/B는 통상 8–80 Hz, VC-C–VC-G는 1–80 Hz의 1/3 옥타브 대역에서 측정된 값으로 간주합니다.
- Detail size는 반도체 제조의 라인 폭 또는 의료·연구에서의 입자 크기를 가리킵니다.
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케이스 스터디 정보
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