설치 보고서
DVIA-M Series
11-11-2024
Tier-1 Semiconductor ZEISS TEM 630 VERSA DVIA-MB3000 (171201R2) Installation Report — 2024.11.11
DVIA-M Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
ZEISS
TEM
630 VERSA
DVIA-MB3000
171201R2
Contents
개요
1차 반도체 고객 현장에서 제진대 상부 장비가 Turn off 상태인 조건에서 제진대의 Passive Setting, Active Tuning 및 진동 측정을 수행했습니다.
진동 측정 결과를 VC-Curve에 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
엔지니어
대일시스템 정성윤 사원
측정 날짜
2024년 11월 11일
보고서 작성일
2024.11.18
측정 장소
Tier-1 Semiconductor 연구동 1층
고객사 장비
Manufacturer: ZEISS
Equipment: TEM
Model: 630 VERSA
진동 측정 장비
5.1) Data Physics
Hardware: QUATTRO DP240
Software: SignalCalc ACE
5.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200
Lines: 3200
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Engineering Units: m/s2
장비 진동 스펙
결론
바닥에서 최대 VC-C의 진동이 측정됩니다.
제진대 Active On 시, 세 방향에서 모두 VC-G 이하의 진동이 측정됩니다.
측정 결과 요약
| 측정 위치 | 측정 방향 | 진동 Spec. | 측정값 | 스펙 만족 여부 |
|---|---|---|---|---|
| 바닥(Floor) | Vertical | VC-C | VC-C | ✓ PASS |
| 바닥(Floor) | Front to back | VC-C | VC-E | ✓ PASS |
| 바닥(Floor) | Left to right | VC-C | VC-E | ✓ PASS |
| 제진대 상부 (DVIA-MB3000 Active On) | Vertical | VC-C | VC-G | ✓ PASS |
| 제진대 상부 (DVIA-MB3000 Active On) | Front to back | VC-C | VC-G | ✓ PASS |
| 제진대 상부 (DVIA-MB3000 Active On) | Left to right | VC-C | VC-G | ✓ PASS |
데이터 및 이미지
Passive control off (Passive) — Vertical
Passive control off (Passive) — Front to back
Passive control off (Passive) — Left to right — VC curves
Passive control off (Passive) — Left to right — Autospectrum
Passive control off (Passive) — Left to right — Transmissibility
Active control on — Vertical — VC curves
Active control on — Vertical — Autospectrum
Active control on — Vertical — Transmissibility
Active control on — Front to back
Active control on — Left to right
Reference
일반 진동 기준
참고:
1. VC-A/B는 8-80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서, VC-C부터 VC-G는 1-80 Hz에서 측정됩니다.
2. 상세 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일11-11-2024
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
ZEISS
TEM
630 VERSA
DVIA-MB3000
171201R2
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