Tier-1 Semiconductor MB3000 P2 Cheongju vibration environment measurement — 2015.10.16

제진대 설치 후 진동환경을 측정하여 장비 사용에 문제가 없는지 확인함.

측정일: 2015. 10. 16(금)

측정자: 대일시스템 임종욱 주임

측정장소: Tier-1 Semiconductor 청주 1공장 P&T2 분석실 4층 NAND 품질팀

MB3000의 상판과 연구실 바닥을 각각 측정하였음. 측정결과는 VC-CLASS로 표시함.

수직축의 경우 0~20Hz사이의 성능은 좋으나, 20Hz이후의 주파수에서는 저주파에 비해 성능이 떨어지는 것을 확인함. 수평축의 바닥 3Hz부근에서 큰 저주파가 있지만 제진대 상부에서는 없어진 것을 확인함.

저주파 부분에서 TOP과 BASE의 그래프가 교차하는 것은 진동 이외의 다른 요소의 영향을 받은 것으로 보임. (전기 노이즈와 공조 장치 등의 영향)

제진대 적용 결과 제진대 상판의 수직방향은 E Class, 수평방향은 F Class 로 상태가 양호함.

제진대를 사용하기 전에는 고배율에서 이미지가 흔들렸으나, 제진대를 사용한 뒤 이미지가 흔들리는 현상이 없어진 것을 확인함.