설치 보고서
DVIA-M Series
05-15-2026
Tier-1 Semiconductor Hwaseong ZEISS GeminiSEM 460 DVIA-MB1000 (230110R2) Installation Report
DVIA-M Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
Hwaseong
ZEISS
ZEISS KOREA
GeminiSEM 460
DVIA-MB1000
230110R2
Contents
Prepared for
ZEISS KOREA
개요
The DVIA-MB1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.
시스템 정보
모델: DVIA-MB1000
시리얼 넘버: 230110R2
담당 엔지니어
Sangjae Lee, Jongwon Park from DAEIL SYSTEMS
튜닝 일자
2023년 7월 20일
보고서 작성일
2023년 7월 24일
출장 일자
17.12.27~17.12.29
설치 위치
Tier-1 Semiconductor 화성 11Line 4F 개발분석실
장비
GeminiSEM 460
진동 측정 결과 요약
| 측정 지점 | Floor | Active |
|---|---|---|
| Z-axis (Vertical) 1-10 Hz | A | E |
| Z-axis (Vertical) 12.5-80 Hz | B | F |
| X-axis (Left to Right) 1-10 Hz | D | G |
| X-axis (Left to Right) 12.5-80 Hz | D | G |
| Y-axis (Front to Back) 1-10 Hz | C | G |
| Y-axis (Front to Back) 12.5-80 Hz | D | G |
데이터 및 이미지
Z축(수직) VC 곡선
Z축(수직) 전달률
X축(좌우) VC 곡선
X축(좌우) 전달률
Y축(전후) VC 곡선
Y축(전후) 전달률
Reference
참고:
1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일05-15-2026
태그
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ZEISS
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GeminiSEM 460
DVIA-MB1000
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