Tier-1 Semiconductor Cheonan C5 ZEISS GeminiSEM 460 DVIA-ML1000 (240709R2) Installation Report
Contents
개요
Tier-1 Semiconductor 천안사업장에 설치된 DVIA-ML1000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 안착 후 장비 IDLE 상태로 진동측정 및 튜닝 진행하였습니다.
Brüel & Kjær사의 DAQ 측정장비를 이용하여 진동측정으로 성능점검을 진행했습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-ML1000
시리얼 넘버: 240709R2
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
측정 일자
2024년 10월 24일
튜닝 일자
N/A
보고서 작성일
2024년 10월 29일
End User
Tier-1 Semiconductor
설치 장소
Tier-1 Semiconductor 천안사업장 C5동
장비 상태
장비 설치 및 IDLE
장비
Manufacturer: ZEISS
Equipment: FE-SEM
Model: GeminiSEM 460
진동 측정 장비
7.1) Brüel & Kjær LAN-XI DAQ Type 3050
Hardware: B&K Front End Type 3050-A-040
Software: B&K Pulse Labshop 22 Version
7.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
Bandwidth: 200 Hz
Lines: 800
Averaging: Spectrum Averaging
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Overlap: Max
진동 사양
결론
모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.
측정 요약
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | Floor | DVIA-ML1000 |
|---|---|---|---|---|
| Tier-1 Semiconductor 천안사업장 C5동 1. Floor 2. DVIA-ML1000 | 장비 설치/IDLE | Vertical | VC-E @ 8 Hz | VC-G @ 8 Hz |
| Left to Right | VC-F @ 5 Hz | VC-G @ 5 Hz | ||
| Front to Back | VC-F @ 8 Hz | VC-G @ 8 Hz |
UI 프로그램 측정 데이터
Vertical VC Curves
수직 Autospectrum
수직 Transmissibility
Left to Right VC Curves
좌우 Autospectrum
좌우 Transmissibility
Front to Back VC Curves
전후 Autospectrum
전후 Transmissibility
장비 사진
Reference
일반 진동 기준
참고:
1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
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