설치 보고서

DVIA-M Series

12-09-2024

Tier-1 Semiconductor Cheonan C5 ZEISS Crossbeam 550 FIB-SEM DVIA-ML1000 (240710R2) Installation Report

DVIA-M Series

Installation Report

Tier-1 Semiconductor

Cheonan

ZEISS

FIB-SEM

Crossbeam 550

DVIA-ML1000

240710R2

개요

삼성전자 천안사업장에 설치된 DVIA-ML1000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.

장비 안착 후 장비 IDLE 상태로 진동측정 및 튜닝 진행하였습니다.

Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-ML1000

시리얼 넘버: 240710R2

담당 엔지니어

대일시스템 필드엔지니어 이채원

튜닝 일자

2024년 12월 06일

보고서 작성일

2024년 12월 09일

End User

Tier-1 Semiconductor 천안사업장

튜닝 횟수

N/A

설치 장소

Tier-1 Semiconductor 천안사업장 C5동

장비

Manufacturer: ZEISS

Equipment: FIB-SEM

Model: Crossbeam 550

진동 측정 장비

9.1) Data Physics DAQ

-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436

-Software: SignalCalc ACE

9.2) Accelerometer

PCB Accelerometer

Model: 393B05

진동 측정 Setup

F Span: 200 Hz

Lines: 3200

Engineering Units: m/s

Window: Hanning

Averaging: FFT Spectrum Averaging

Averaging mode: Exponential, 40

진동 사양

장비 상태

장비 설치 및 IDLE

결론

모든 방향에서 장비 진동 스펙을 만족합니다.

측정 요약

측정 장소	상태	방향	장비 스펙	Floor	DVIA-ML1000	결과	결과
Tier-1 Semiconductor 천안사업장 C5동 1. Floor 2. DVIA-ML1000	장비 설치/IDLE	Vertical	VC-E	VC-D @ 10 Hz	VC-G @ 10 Hz	✗ FAIL	✓ PASS
Tier-1 Semiconductor 천안사업장 C5동 1. Floor 2. DVIA-ML1000	장비 설치/IDLE	Left to Right	VC-F	VC-F @ 3.15 Hz	VC-G @ 3.15 Hz	✓ PASS	✓ PASS
Tier-1 Semiconductor 천안사업장 C5동 1. Floor 2. DVIA-ML1000	장비 설치/IDLE	Front to Back	VC-F	VC-F @ 4 Hz	VC-G @ 4 Hz	✓ PASS	✓ PASS

데이터 및 이미지

Vertical VC Curves

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Autospectrum

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Autospectrum

Front to Back Transmissibility

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리

설치 보고서

시리즈DVIA-M Series

작성일12-09-2024

태그

DVIA-M Series

Installation Report

Tier-1 Semiconductor

Cheonan

ZEISS

FIB-SEM

Crossbeam 550

DVIA-ML1000

240710R2

Tier-1 Semiconductor Cheonan C5 ZEISS Crossbeam 550 FIB-SEM DVIA-ML1000 (240710R2) Installation Report

Contents

개요

진동 제어 시스템 정보

담당 엔지니어

튜닝 일자

보고서 작성일

End User

튜닝 횟수

설치 장소

장비

진동 측정 장비

진동 측정 Setup

진동 사양

장비 상태

결론

측정 요약

데이터 및 이미지

Vertical VC Curves

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Autospectrum

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Autospectrum

Front to Back Transmissibility

Reference

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