설치 보고서
DVIA-M Series
02-24-2025
Tier-1 Semiconductor Onyang ZEISS Crossbeam 550 FIB-SEM DVIA-M1000 (240726R3) Installation Report
DVIA-M Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
Onyang
ZEISS
Crossbeam 550
FIB-SEM
DVIA-M1000
DVIA-ML1000
240726R3
Contents
개요
Tier-1 Semiconductor 온양 캠퍼스에 설치된 DVIA-ML1000 튜닝 및 진동측정을 진행하였습니다.
장비 Turned off 상태로 튜닝 및 진동 측정을 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-M1000
시리얼 넘버: 240726R3
담당 엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원, 서종화
측정 일자
2025년 02월 12일
튜닝 일자
N/A
보고서 작성일
2025년 02월 24일
튜닝 횟수
N/A
End User
Tier-1 Semiconductor
설치 현장
대한민국 온양 — 4라인 연구실
장비 상태
장비 설치 및 Turned off
장비
Manufacturer: ZEISS
Equipment: FIB-SEM
Model: Crossbeam 550
측정 장비
9.1) Data Physics DAQ
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
9.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 설정
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
진동 사양
결론
모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.
측정 요약
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | Floor | DVIA-M1000 |
|---|---|---|---|---|
| Tier-1 Semiconductor 온양 4라인 연구실 1. Floor 2. DVIA-M1000 | 장비 설치 및 Turned off | Vertical | VC-C @ 12.5 Hz | VC-G @ 12.5 Hz |
| Left to Right | VC-D @ 20 Hz | VC-G @ 20 Hz | ||
| Front to Back | VC-D @ 1 Hz | VC-F @ 1 Hz |
UI 프로그램 측정 데이터
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospectrum
Front to Back Transmissibility
장비 사진
Reference
일반 진동 기준
참고:
1. VC-A/B는 8-80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서, VC-C부터 VC-G는 1-80 Hz에서 측정됩니다.
2. 상세 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일02-24-2025
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DVIA-M Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
Onyang
ZEISS
Crossbeam 550
FIB-SEM
DVIA-M1000
DVIA-ML1000
240726R3
