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설치 보고서
DVIA-M Series
11-03-2025

DVIA-ML1000 (241016R7) Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
ZEISS
FIB-SEM
Crossbeam 550
Tier-1 Semiconductor
Semiconductor
DVIA-ML1000
241016R7

Contents

개요

N/A

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-ML1000

시리얼 넘버: 241016R7

담당 엔지니어

이채원

튜닝 일자

25.10.20

보고서 작성일

25.11.03

End User

삼성전자 DSR

튜닝 횟수

N/A

설치 위치

N/A

장비

제조사: N/A

장비: N/A

모델: DVIA-ML1000

진동 사양

장비 상태

N/A

측정 요약

측정 장소상태방향측정값결과
바닥진동DVIA-ML1000바닥진동DVIA-ML1000
삼성전자 DSR A동 연구타워 지하 2층 클린룸
1. 바닥진동
2. DVIA-ML1000		Turned on/IDLEVerticalVC-G @ 1 HzVC-G @ 1 Hz✓ PASS✓ PASS
Left to RightVC-E @ 1 HzVC-G @ 1 Hz✓ PASS✓ PASS
Front to BackVC-E @ 2 HzVC-G @ 2 Hz✓ PASS✓ PASS

데이터 및 이미지

Vertical VC Curves

Vertical VC Curves

Vertical VC Curves

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Autospectrum

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일11-03-2025
태그
DVIA-M Series
Installation Report
ZEISS
FIB-SEM
Crossbeam 550
Tier-1 Semiconductor
Semiconductor
DVIA-ML1000
241016R7

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