Tier-1 Semiconductor ZEISS FE-SEM GeminiSEM 560 DVIA-MB1000 (231204R8) Installation Report
Contents
개요
삼성전자 화성캠퍼스 12L 4층 연구소 분석실에 DVIA-MB1000 설치 튜닝 및 진동측정
DVIA-MB1000을 PC와 연결하여 UI Program을 통한 설치 튜닝, 진동측정 장비를 이용한 점검 진행했습니다.
Equipment Idle 상태에서 설치 튜닝 및 진동을 측정했습니다.
시스템 정보
Model: DVIA-MB1000
Serial Number: 231204R8
담당 엔지니어
Jongwon Park from DAEIL SYSTEMS
설치 일자
February 22, 2024
보고서 작성일
March 7, 2024
Prepared for
Tier-1 Semiconductor
설치 장소
Tier-1 Semiconductor Hwaseong campus 12L, Hwaseong
장비
ZEISS FE-SEM GeminiSEM 560
튜닝 횟수
1회차
장비 상태
Equipment is installed / Idle
측정 장비
9.1) Data Physics FFT Analyser
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
9.2) Measurement Setting
Bandwidth: 1 - 80Hz
Lines: 800
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Engineering Units: m/s
9.3) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
9.4) Measurement Method
상부(Top plate), 하부(Floor)에 진동 측정용 가속도 센서를 부착합니다.
Vertical, Left to Right, Front to Back 방향으로 진동을 측정합니다.
측정 Data를 VC Curve Graph에 표기하였습니다.
결론
Vertical 방향의 지반진동은 VC-B이며, DVIA-MB1000에서 VC-F까지 감쇠 되었습니다.
Left to Right, Front to Back 방향의 지반진동이 VC-G까지 감쇠 되었습니다.
Vertical, Left to Right, Front to Back 방향에서 지반진동은 장비 진동 스펙의 허용 범위를 초과하였으나, DVIA-MB1000에서는 모든 주파수 대역에서 장비 진동 스펙을 만족합니다.
진동 결과 요약
| Measurement Point | Floor | DVIA-MB1000 | Equipment Spec |
|---|---|---|---|
| Vertical 1-10 Hz | B(✗ fail) | F(✓ pass) | D |
| Vertical 12.5-80 Hz | B(✗ fail) | F(✓ pass) | B |
| Left to Right 1-10 Hz | C(✗ fail) | G(✓ pass) | D |
| Left to Right 12.5-80 Hz | D(✓ pass) | G(✓ pass) | B |
| Front to Back 1-10 Hz | C(✗ fail) | G(✓ pass) | D |
| Front to Back 12.5-80 Hz | E(✓ pass) | G(✓ pass) | B |
GeminiSEM560 Allowable Vibration Spec
GeminiSEM560 Allowable Vertical Vibration Spec VC curve Graph
GeminiSEM560 Allowable Horizontal Vibration Spec VC curve Graph
데이터 및 이미지
UI Program Transmissibility
Vertical Transmissibility
Left to Right Transmissibility
Front to Back Transmissibility
12.2 Vibration Measurement
Vertical VC Curve (rms Velocity, m/s)
지반 진동이 가장 큰 6.25 Hz에서 VC-B(2.06E-05)가 측정되어 장비 진동 스펙 허용 범위를 초과하지만 DVIA-MB1000에서 VC-G(4.52E-07)까지 감쇠합니다.
DVIA-MB1000은 모든 주파수 대역에서 장비 진동 스펙을 만족합니다.
Left to Right VC Curve (rms Velocity, m/s)
지반 진동이 가장 큰 3.25 Hz에서 VC-C(1.05E-05)가 측정되어 장비 진동 스펙 허용 범위를 초과하지만 DVIA-MB1000에서 VC-G(6.35E-07)까지 감쇠합니다.
DVIA-MB1000은 모든 주파수 대역에서 장비 진동 스펙을 만족합니다.
Front to Back VC Curve (rms Velocity, m/s)
지반 진동이 가장 큰 2.5 Hz에서 VC-C(8.80E-06)가 측정되어 장비 진동 스펙 허용 범위를 초과하지만 DVIA-MB1000에서 VC-G(4.23E-07)까지 감쇠합니다.
DVIA-MB1000은 모든 주파수 대역에서 장비 진동 스펙을 만족합니다.
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
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