Tier-1 Semiconductor DSR ZEISS GeminiSEM 460 DVIA-MB1000 (231123R6) Installation Report
Contents
개요
Tier-1 Semiconductor DSR에 DVIA-MB1000 설치 후 튜닝 및 진동측정을 진행했습니다.
DVIA-MB1000을 노트북과 연결하여 UI software을 통해 피드백과 피드포워드 튜닝을 수행하고, Data Physics 측정장비를 이용하여 진동측정으로 성능점검을 진행했습니다.
현장 제약으로 측정 데이터 반출이 어려워 측정 파형·스펙트럼 등 측정 결과 그림은 이 공개 요약에 포함하지 않습니다. 제조사 장비 진동 스펙 도면은 아래 절에 게시합니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-MB1000
시리얼 넘버: 231123R6
담당 엔지니어
대일시스템 이채원
튜닝 일자
2024년 06월 12일
보고서 작성일
24.06.
고객사
Tier-1 Semiconductor DSR
설치 장소
Tier-1 Semiconductor DSR A동 지하 3층 연구소
고객사 장비
ZEISS GeminiSEM 460
장비 진동 스펙
제조사 허용 진동 한도 표
Vertical SPEC
Horizontal SPEC
장비 상태
Equipment is installed and operating.
튜닝 횟수
1회차
진동 측정 장비
10.1) Data Physics
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200
Lines: 3200
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Engineering Units: m/s
결론
Vertical: 바닥에서 1 Hz와 1.25 Hz에서 VC-F의 진동이 측정됩니다. 나머지 대역대에서는 VC-G가 측정됩니다. DVIA-MB1000에서는 모든 대역대에서 VC-G의 진동이 측정됩니다.
Left to Right: 바닥에서 1 Hz에서 VC-F의 진동이 측정됩니다. 나머지 대역대에서는 VC-G가 측정됩니다. DVIA-MB1000에서는 모든 대역대에서 VC-G의 진동이 측정됩니다.
Front to Back: 바닥에서 1 Hz에서 VC-F의 진동이 측정됩니다. 나머지 대역대에서는 VC-G가 측정됩니다. DVIA-MB1000에서는 모든 대역대에서 VC-G의 진동이 측정됩니다.
모든 대역대에서 효과적으로 제진을 하고 있습니다.
모든 방향에서 장비의 진동 스펙을 만족합니다.
Reference
참고:
1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
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